[實用新型]一種低溫二維真空樣品臺

有效

• 申請號: 201820729342.0
• 申請日: 2018-05-16
• 公開（公告）號: CN208156027U
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發明（設計）人: 郭方準;馬自達;吳祖光;董華軍;臧侃
• 申請（專利權）人: 大連交通大學
• 主分類號: G01N35/10
• 分類號: G01N35/10;G01N35/00
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司 21212
• 代理人: 李馨

本實用新型屬于超高真空設備領域，具體涉及一種低溫二維真空樣品臺。一種低溫二維真空樣品臺，其兩個回轉驅動電機的動力分別由第一無磁旋轉鋼絲和第二無磁旋轉鋼絲傳至樣品臺旋轉機構內，第一無磁旋轉鋼絲將扭矩傳至樣品臺旋轉機構內，實現樣品臺的面內旋轉運動；第二無磁旋轉鋼絲將扭矩傳至樣品臺旋轉機構內，實現樣品臺的傾角擺動；冷卻套管下端與樣品臺旋轉機構接觸，冷卻套管上端設有冷源入口，以保持樣品臺旋轉機構低溫；樣品臺旋轉機構外包覆低溫屏蔽罩，防止溫度擴散。本實用新型結構簡單，便于生產，且成本低廉，滿足不同的使用要求；本實用新型在保持超高真空環境的同時，可以在超低溫環境下工作。

技術領域

本實用新型屬于超高真空設備領域，具體涉及一種低溫二維真空樣品臺。

背景技術

真空有著不同的程度，通常情況下可分為低真空領域、中真空領域、高真空領域、超高真空領域和極高真空領域。在超高空真空領域內，包括真空容器壁上吸附的分子在內，氣體分子的存在幾乎可以忽略，固體清潔表面的維持時間也可以相對延長。因此，在諸如真空、低溫等極端環境下，可以開展表面科學、半導體應用和核聚變裝置等領域的研究，這些課題的研究對于解決當前人類面臨的如環境、能源和新材料等問題起著重要的作用。所以，發展在超高真空領域、超低溫環境等極端環境下工作的設備，此類需求變得尤為迫切。

現有技術中，如在光電子檢測領域，對于解決在超高真空、極端低溫環境下多維度移動的問題沒有較好的解決方案，一般是通過機械手控制樣品臺的移動，但是機械手設備控制算法復雜，成本較高，且電子元件無法適應極端低溫環境，所以研發一種可以在極端環境下實現多維移動的設備迫在眉睫。

目前，我國在高端的真空設備研發生產和技術普及方面都遠遠不能滿足需要，更不具備實力與國際對手直接競爭，國家每年投入的科研經費有相當大的比例被用來采購國外的科研設備，這不僅使我國的科研受制于人，也很難擁有原創性的科研成果。因此，迅速提高我國真空技術裝備的發展，是當務之急。

實用新型內容

針對現有技術中存在的問題，本實用新型創新設計了一種結構簡單，成本低廉，易于實現批量工業化生產的低溫二維真空樣品臺。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種低溫二維真空樣品臺，包括兩個回轉驅動電機1、第一無磁旋轉鋼絲2、支撐套管3、冷卻套管4、樣品臺旋轉機構5、第二無磁旋轉鋼絲6、六通短管8 和低溫屏蔽罩9，其中：

兩個回轉驅動電機1的動力分別由第一無磁旋轉鋼絲2和第二無磁旋轉鋼絲6傳至樣品臺旋轉機構5內，第一無磁旋轉鋼絲2將扭矩傳至樣品臺旋轉機構5內，實現樣品臺54的面內旋轉運動；第二無磁旋轉鋼絲6將扭矩傳至樣品臺旋轉機構5內，實現樣品臺54的傾角擺動；支撐套管3上端連接六通短管8，支撐套管3下端連接樣品臺旋轉機構5，第一無磁旋轉鋼絲2、第二無磁旋轉鋼絲6和冷卻套管4位于支撐套管3內；冷卻套管4下端與樣品臺旋轉機構5接觸，冷卻套管4上端設有冷源入口，以保持樣品臺旋轉機構5處于低溫環境中；樣品臺旋轉機構5外包覆低溫屏蔽罩9，防止溫度擴散。

進一步地，所述的第一無磁旋轉鋼絲2、第二無磁旋轉鋼絲6位于支撐套管 3內，由支撐片7將第一無磁旋轉鋼絲2和第二無磁旋轉鋼絲6束縛在支撐套管 3內。