[實用新型]擴散爐爐口排風裝置

有效

• 申請號: 201820724846.3
• 申請日: 2018-05-15
• 公開（公告）號: CN208298853U
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發明（設計）人: 周典儒;孔海洋;楊強;黃海燕;陸川
• 申請（專利權）人: 浙江正泰太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京元合聯合知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11653
• 代理人: 李非非;楊興宇

本實用新型實施例中提供了一種擴散爐爐口排風裝置，所述擴散爐爐口排風裝置包括：排風罩、多個排風管和接液盤；所述排風罩設置有爐管開口和多個排風口；所述多個排風管與所述多個排風口連通；所述接液盤設置于所述爐管開口下方，與所述排風罩貼合連接。本實施例中的擴散爐爐口排風裝置可以承接爐管爐口冷凝形成的偏磷酸廢液，防止偏磷酸廢液滴濺至下方擴散爐或機臺上，避免偏磷酸廢液污染硅片及碳化硅槳等，有效提升了硅片生產良率；且還可以避免偏磷酸廢液腐蝕擴散設備內部供電線路，大幅度降低了擴散設備的短路風險。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池片擴散領域，特別是涉及一種擴散爐爐口排風裝置。

背景技術

擴散設備是太陽能電池片生產工序的重要工藝設備之一，它的主要用途是對半導體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制硅片內雜質的類型、濃度和分布，以建立不同的電性區域。雖然某些工藝可以使用離子注入的方法進行摻雜，但是熱擴散仍是最主要、最普遍的摻雜方法。硅的熱氧化作用是使硅片表面在高溫下與氧化劑發生反應，生長一層二氧化硅膜。氧化方法有干氧化和水汽氧化兩種，擴散設備是用這兩種氧化方法制備氧化層的基礎設備。

現有的擴散設備一般是由3根沿豎直方向水平設置的石英爐管組成的，常規的擴散爐的爐門密封都是由石英爐門和石英爐管爐口的硬接觸來完成，但是這種硬接觸的密封效果并不好，生產過程當中產生的廢氣容易從爐口泄露出來，并在爐口區域冷凝形成偏磷酸廢液，當偏磷酸廢液積聚過多時，便會滴濺至下方爐管及設備上。而現有的擴散設備并未設置相關的接液裝置，由于冷凝偏磷酸廢液的滴濺，擴散設備存在諸如硅片、碳化硅槳及石英管等被廢液污染的問題，影響硅片生產良率；且如果冷凝的偏磷酸廢液滴濺至設備內部，還存在腐蝕供電線路，進而導致設備短路的風險。

實用新型內容

本實用新型實施例中提供了一種擴散爐爐口排風裝置，用以避免冷凝的偏磷酸廢液污染硅片及設備，提升硅片生產良率，所述裝置包括：排風罩和多個排風管，其中：

所述排風罩設置有爐管開口和多個排風口；

所述多個排風管與所述多個排風口連通；

其特征在于，所述裝置還包括接液盤，所述接液盤設置于所述爐管開口下方，與所述排風罩貼合連接。

一個實施例中，所述接液盤與所述排風罩貼合一側的側壁頂部形狀和所述爐管開口匹配。

一個實施例中，所述接液盤與所述排風罩貼合一側的側壁頂部還設置有鉤掛部件。

一個實施例中，所述接液盤為長方形接液盤。

一個實施例中，所述接液盤與所述排風罩垂直的兩側壁還設置有擋板。

一個實施例中，所述接液盤為長30.5厘米、寬21厘米、高2厘米的長方形接液盤。

一個實施例中，所述排風罩為邊長57厘米的正方形排風罩。

一個實施例中，所述爐管開口設置于所述正方形排風罩的中心。

一個實施例中，所述正方形排風罩設置有4個排風口，所述4個排風口分布于所述正方形排風罩四角。

本實用新型實施例中的擴散爐爐口排風裝置，包括設置有爐管開口和多個排風口的排風罩，多個與排風口連接的排風管，設置于爐管開口下方，并與排風罩貼合連接的接液盤。本實施例中的擴散爐爐口排風裝置可以承接爐管爐口冷凝形成的偏磷酸廢液，防止偏磷酸廢液滴濺至下方擴散爐或機臺上，避免偏磷酸廢液污染硅片及碳化硅槳等，有效提升了硅片生產良率；且還可以避免偏磷酸廢液腐蝕擴散設備內部供電線路，大幅度降低了擴散設備的短路風險。

附圖說明