[實用新型]一種深紫外平面光波導有效
| 申請號： | 201820723923.3 | 申請日： | 2018-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN208172288U | 公開（公告）日： | 2018-11-30 |
| 發明（設計）人： | 吳锜;姬蘭亭;田亮;宋冉;孫遠明;孫清泉;竇琳;佟瑤 | 申請（專利權）人： | 德州堯鼎光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/00 | 分類號： | G02B6/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 青島高曉專利事務所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 白瑩;于正河 |
| 地址： | 253000 山東省德州市經濟技術開*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 上包層 芯層 保護層 基底層 平面光波導 深紫外波段 二氧化硅 光波導 折射率 摻雜 器件技術領域 本實用新型 光信號處理 傳輸損耗 海洋探測 化學傳感 矩形結構 深紫外光 食品安全 醫療衛生 重要意義 主體結構 光器件 熱應力 吸收量 石英 波導 互溶 凸臺 異質 制作 應用 制造 | ||
【權利要求書】：
1.一種深紫外平面光波導，其特征在于主體結構包括基底層、凸臺、芯層、保護層和上包層；長方體結構的基底層的上表面中心處沿縱向軸線設置有長方體結構的凸臺，凸臺的上表面設置有長方體結構的芯層，基底層的上表面未設置凸臺的位置與芯層的上表面設置有保護層，保護層的上表面設置有上包層。
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