[實用新型]一種加熱器電極防轉結構

有效

• 申請號: 201820720909.8
• 申請日: 2018-05-15
• 公開（公告）號: CN208609217U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 杜軍;陳新
• 申請（專利權）人: 成都華聚科技有限公司
• 主分類號: H05B3/03
• 分類號: H05B3/03
• 代理公司: 成都瑞創華盛知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 51270
• 代理人: 鄧瑞;辜強

本實用新型公開了一種加熱器電極防轉結構，包括電熱體、電極、加熱器外罩、固定塊、絕緣陶瓷塊，所述電極中段有階梯臺階及并緊外螺紋，且并緊外螺紋段有型面扁方，所述陶瓷塊有與電極匹配的內孔型面扁方，套入電極中段外螺紋扁方處，通過電極中段階梯臺階軸向定位并采用電極并緊螺母稍許施壓軸向并緊，所述絕緣陶瓷塊外表面還有另一型面扁方及階梯臺階，所述固定塊有與絕緣陶瓷塊外表面型面扁方匹配的內孔型面扁方，安裝時通過型面扁方將絕緣陶瓷塊套入固定塊，并通過階梯臺階軸向定位。本實用新型采用型面圓周固定電極，方便了電極與電熱體及引線的固定安裝，同時解決了設備長期使用過程中因振動而引起的電接觸不良隱患。

技術領域

本發明屬于半導體晶圓薄膜生成工藝設備技術領域，特別是涉及一種加熱器電極防轉結構。

背景技術

半導體晶圓制造過程中會反復用到薄膜工藝，其中PVD(Physical VaporDeposition)物理氣相沉積與CVD(Chemical Vapor Deposition)化學氣相沉積應用廣泛，采用此兩種薄膜生成工藝時，晶圓往往需要處于一定溫度的真空環境或工藝氣氛環境下，這就要求工藝設備具備給晶圓加熱的能力。現如今工業上多采用電阻加熱方式，其電熱體、保溫層、電極及各相關組合附件統稱為加熱器。

現有加熱器電極裝配結構多采用螺母軸向并緊，依靠摩擦力來抑制電極繞軸線的旋轉，由于并緊螺母容易松動，電極在圓周方向并沒有嚴格的機械定位。在電極與電熱體連接安裝及電極與引線連接安裝過程中，電極可繞軸線圓周旋轉，這給裝配帶來不便；同時電極安裝后由于設備使用過程的長期振動，電極存在因振動而自旋，從而引起電接觸不良的隱患。

因此，如何解決上述問題成為本領域人員研究的重點。

實用新型內容

本實用新型的目的就是提供一種加熱器電極防轉結構，能有效解決上述設備使用過程長期振動，電極存在因振動而自旋，從而引起電接觸不良的隱患。

本實用新型的目的通過下述技術方案來實現：

一種加熱器電極防轉結構，包括電極、加熱器外罩、固定塊、絕緣陶瓷塊、電極并緊螺母，所述加熱器外罩有電極穿孔和內螺紋孔，所述電極中段有階梯臺階及并緊外螺紋，且并緊外螺紋段加工有型面扁方，絕緣陶瓷塊有與電極型面扁方相配合的內孔，絕緣陶瓷塊套在電極型面扁方上，且絕緣陶瓷塊外表面也有臺階狀型面扁方，所述固定塊有與絕緣陶瓷塊外表面臺階狀型面扁方匹配的內孔型面扁方，固定塊套在絕緣陶瓷塊臺階狀型面扁方的外表，所述固定塊還有與加熱器外罩內螺紋孔匹配的固定螺孔，固定塊通過固定螺孔固定在加熱器外罩內螺紋孔上，電極并緊螺母套在電極并緊外螺紋上，電極并緊螺母在緣陶瓷塊下面將絕緣陶瓷塊固定。

作為優選，所述電極的一端帶內螺紋孔，連接螺釘將電熱體固定在電極內螺紋孔上。

作為優選，所述電極的另一端有外螺紋，兩個引線并緊螺母和兩個平墊圈將引線固定在電極外螺紋端。

作為優選，所述加熱器外罩的內螺紋孔與對應的固定塊的固定螺孔均有三個，且三個孔成三角形排列。

作為優選，所述絕緣陶瓷塊的外表面階梯臺階與加熱器外罩底面留有稍許間隙。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：

本實用新型電極中段與加熱器外罩采用帶有型面扁方的螺紋連接方式，電極不可以繞軸線旋轉，因此裝配方便，絕緣陶瓷塊以及固定塊均采用型面扁方的結構連接同時電極安裝后不會因為設備長期振動，產生自旋，就不會引起電接觸不良的問題。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是絕緣陶瓷塊結構示意圖；

圖3是固定塊結構示意圖；

圖4是電極結構圖。