[實用新型]曝光機光源裝置

有效

• 申請號: 201820716937.2
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN208399890U
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發明（設計）人: 敬立成;張斌;戴滔
• 申請（專利權）人: 深圳市虎成科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種曝光機光源裝置，應用于汞燈曝光機中，其特征在于，包括下底座、上底座、云臺機構、UV平行光燈頭、燈座，其中，上底座對應設于下底座上；燈座設于云臺機構上，云臺機構對應設于上底座上，所述云臺機構便于用戶前、后、左、右、上、下調節燈座的位置；UV平行光燈頭通過一轉軸繞設于燈座上，便于用戶調整UV平行光燈頭與汞燈曝光機的蠅眼透鏡之間的角度；燈座上還穿設有固定螺桿，所述固定螺桿底部作用于UV平行光燈頭，用于固定UV平行光燈頭。

2.如權利要求1所述的曝光機光源裝置，其特征在于，所述下底座、上底座均采用鋁型材拼接而成，下底座與上底座通過“L”型角件連接固定。

3.如權利要求1所述的曝光機光源裝置，其特征在于，所述云臺機構為固定式全方位云臺。