[實用新型]掩膜版有效
| 申請號： | 201820714906.3 | 申請日： | 2018-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN208266254U | 公開（公告）日： | 2018-12-21 |
| 發明（設計）人： | 劉明星;王徐亮;甘帥燕;高峰;張玄 | 申請（專利權）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 像素開口 掩膜版 褶皺 彼此錯開 傳輸通道 方向排列 拉力提供 拉力作用 成排 拉伸 兩排 掩膜 張網 垂直 傳遞 | ||
1.一種掩膜版，其特征在于，當所述掩膜版被拉伸的方向為第一方向，垂直于所述第一方向的方向為第二方向時，
所述掩膜版分布有沿所述第一方向和所述第二方向排列成排的像素開口，在所述第一方向上相鄰的兩排像素開口中的像素開口在所述第二方向上彼此錯開，并且
在所述第一方向上相鄰的兩個所述像素開口之間的在所述第一方向上的間距小于在所述第二方向上的間距。
2.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述像素開口的形狀為被倒角的兩條對角線分別沿所述第一方向和所述第二方向延伸的菱形。
3.根據權利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述像素開口被倒角成在所述第一方向包括弧形的第一圓角，在所述第二方向包括弧形的第二圓角。
4.根據權利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述第二圓角的曲率半徑大于所述第一圓角的曲率半徑。
5.根據權利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述第二圓角的曲率半徑小于所述第一圓角的曲率半徑的兩倍。
6.根據權利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述像素開口被倒角成在所述第二方向上包括夾角過渡部，所述夾角過渡部包括第一邊、第二邊和第三邊，所述第一邊和所述第二邊為所述菱形的兩條相鄰的邊，所述第三邊連接所述第一邊和所述第二邊。
7.根據權利要求6所述的掩膜版，其特征在于，所述第三邊與所述第一方向平行設置。
8.根據權利要求6或7所述的掩膜版，其特征在于，所述第三邊的長度大于所述菱形的邊長的0.1倍且小于所述菱形的邊長的0.5倍。
9.根據權利要求5所述的掩膜版，其特征在于，所述像素開口被倒角成在所述第一方向上包括弧形的第三圓角。
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