[實用新型]一種基于固體反射層的聲表面波諧振器

有效

• 申請號: 201820710758.8
• 申請日: 2018-05-14
• 公開（公告）號: CN207853857U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 王國浩
• 申請（專利權）人: 杭州左藍微電子技術有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/02;H03H3/08
• 代理公司: 北京中知法苑知識產權代理事務所(普通合伙) 11226
• 代理人: 李明

本實用新型提供了一種基于固體反射層的聲表面波諧振器，所述聲表面波諧振器包括基片、位于該基片上方的壓電材料基板以及形成于該壓電材料基板上的叉指結構；在所述基片和所述壓電材料基板之間設有至少一組反射層組，各組反射層組均包括第一布拉格反射層及位于該第一布拉格反射層上的第二布拉格反射層。本實用新型的聲表面波諧振器能使漏波能通過固體反射層的布拉格反射回來，從而提高諧振器的Q值。

技術領域

本實用新型涉及一種新型聲表面波諧振器，特別是涉及一種采用聲表面波與固體反射層組合的諧振器。

背景技術

隨著無線通訊應用的發展，人們對于數據傳輸速度的要求越來越高。在移動通信領域，第一代是模擬技術，第二代實現了數字化語音通信，第三代(3G)以多媒體通信為特征，第四代(4G)將通信速率提高到1Gbps、時延減小到10ms，第五代(5G)是4G之后的新一代移動通信技術，雖然5G的技術規范與標準還沒有完全明確，但與3G、4G相比，其網絡傳輸速率和網絡容量將大幅提升。如果說從1G到4G主要解決的是人與人之間的溝通，5G將解決人與人之外的人與物、物與物之間的溝通，即萬物互聯，實現“信息隨心至，萬物觸手及”的愿景。

與數據率上升相對應的是頻譜資源的高利用率以及通訊協議的復雜化。由于頻譜有限，為了滿足數據率的需求，必須充分利用頻譜；同時為了滿足數據率的需求，從4G開始還使用了載波聚合技術，使得一臺設備可以同時利用不同的載波頻譜傳輸數據。另一方面，為了在有限的帶寬內支持足夠的數據傳輸率，通信協議變得越來越復雜，因此對射頻系統的各種性能也提出了嚴格的需求。

在射頻前端模塊中，射頻濾波器起著至關重要的作用。它可以將帶外干擾和噪聲濾除以滿足射頻系統和通訊協議對于信噪比的需求。隨著通信協議越來越復雜，對頻帶內外的要求也越來越高，使得濾波器的設計越來越有挑戰。另外，隨著手機需要支持的頻帶數目不斷上升，每一款手機中需要用到的濾波器數量也在不斷上升。

目前射頻濾波器最主流的實現方式是聲表面波濾波器和基于薄膜體聲波諧振器技術的濾波器。薄膜體聲波諧振器主要用于高頻(比如大于2.5GHz的頻段)，制造工藝比較復雜，成本較高。而聲表面波濾波器主要用于中低頻(比如小于2.5GHz的頻段)，制造工藝相對比較簡單，成本相比于薄膜體聲波諧振器要低很多，比較容易受市場接受。

如何提高聲表面波諧振器的頻率和Q值一直是業界研究的熱點，各種加工制備方式已經有很多。在以往的傳統結構和制備方式中，主要將金屬叉指結構制備在壓電薄膜的基板上，比如鈮酸鋰、鉭酸鋰等壓電薄膜基板。該傳統制備方式對于壓電薄膜基板的要求非常高，并且即使使用壓電薄膜基板，也并不能完全起到聲波阻擋與反射的作用，從而影響最終聲表面波諧振器的性能。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術的缺陷，提出了一種基于固體反射層的聲表面波諧振器，所述聲表面波諧振器包括基片、位于該基片上方的壓電材料基板以及形成于該壓電材料基板上的叉指結構；在所述基片和所述壓電材料基板之間設有至少一組反射層組，各組反射層組均包括第一布拉格反射層及位于該第一布拉格反射層上的第二布拉格反射層。

進一步地，所述第一布拉格反射層的厚度與第二布拉格反射層的厚度相同或者不同。

進一步地，所述第一布拉格反射層的厚度在10μm-1000μm。

進一步地，所述第二布拉格反射層的厚度在10μm-1000μm。

進一步地，所述第一布拉格反射層為二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或碳化硅。

進一步地，所述第二布拉格反射層為鎢、氮化鋁、氧化鉿、氧化鈦或氧化鉈。

進一步地，所述反射層組為2-10組。

進一步地，所述叉指結構為銅、鋁、鉻、銀或鈦。

進一步地，所述叉指結構的厚度為1μm-500μm。