[實用新型]熱絲夾具和熱絲沉積設備有效
| 申請號： | 201820707020.6 | 申請日： | 2018-05-11 |
| 公開（公告）號： | CN208455057U | 公開（公告）日： | 2019-02-01 |
| 發明（設計）人： | 唐永炳;陳波;王陶;楊揚 | 申請（專利權）人： | 深圳先進技術研究院 |
| 主分類號： | C23C16/27 | 分類號： | C23C16/27;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 肖麗 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱絲 固定桿 夾具 承載 平行間隔設置 沉積設備 本實用新型 分布均勻度 溫度場分布 垂線方向 工況條件 技術效果 夾具支架 氣相沉積 溫度差 彈簧 平行 受力 緩解 移動 | ||
1.一種熱絲夾具，其特征在于，包括：
夾具支架，包括依次平行間隔設置的第一熱絲固定桿、第一熱絲承載棒、第二熱絲承載棒和第二熱絲固定桿，所述第一熱絲固定桿可沿所述第一熱絲承載棒的垂線方向移動，和，
多根熱絲平行間隔設置組成的熱絲組，固定連接于所述第一熱絲固定桿與所述第二熱絲固定桿，且與所述第一熱絲承載棒和第二熱絲承載棒接觸；以及，
彈簧，兩端分別固定連接于所述第一熱絲固定桿與所述第二熱絲固定桿，并與所述熱絲平行。
2.根據權利要求1所述的熱絲夾具，其特征在于，所述第一熱絲承載棒上垂直連接有兩根導軌，所述第一熱絲固定桿滑動安裝于所述導軌之間。
3.根據權利要求1或2所述的熱絲夾具，其特征在于，所述第二熱絲固定桿可沿所述第二熱絲承載棒的垂線方向移動。
4.根據權利要求3所述的熱絲夾具，其特征在于，所述第二熱絲承載棒上垂直連接有兩根導軌，所述第二熱絲固定桿滑動安裝于所述導軌之間。
5.根據權利要求1或2所述的熱絲夾具，其特征在于，所述彈簧至少為兩根，且對稱設置于所述熱絲組的兩側。
6.根據權利要求1或2所述的熱絲夾具，其特征在于，所述第一熱絲承載棒和第二熱絲承載棒之間設有絕緣支撐桿。
7.根據權利要求4所述的熱絲夾具，其特征在于，所述絕緣支撐桿為陶瓷桿。
8.根據權利要求1或2所述的熱絲夾具，其特征在于，所述第一熱絲固定桿上設有用于纏繞固定熱絲的圓柱。
9.根據權利要求1或2所述的熱絲夾具，其特征在于，所述第一熱絲承載棒和第二熱絲承載棒上均設有電極連接孔。
10.一種熱絲沉積設備，其特征在于，包括權利要求1－9任一項所述的熱絲夾具。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
