[實(shí)用新型]一種多層層疊式層壓機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820683320.5
• 申請(qǐng)日: 2018-05-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208180472U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉勇;韓興;劉博明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 秦皇島可視自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B32B37/10
• 分類(lèi)號(hào): B32B37/10;B32B38/18;H01L31/18
• 代理公司: 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11316
• 代理人: 趙俊宏

1.一種多層層疊式層壓機(jī)，包括多個(gè)層壓主機(jī)（100）、抽真空裝置，所述多個(gè)層壓主機(jī)（100）上、下層疊設(shè)置，每個(gè)層壓主機(jī)包括下箱體（140），下箱體上設(shè)置有構(gòu)成下真空室的腔體（130），其特征在于，每一所述層壓主機(jī)（100）的下箱體上均設(shè)置有上下貫通的連通孔（110），每個(gè)層壓主機(jī)的連通孔（110）與其腔體（130）連通，在上層層壓主機(jī)與下層層壓主機(jī)間設(shè)置有密封聯(lián)通件（300），密封連通件設(shè)置有連通通道（351），上層層壓主機(jī)（100）的連通孔（110）與下層層壓主機(jī)（100）的連通孔（110）通過(guò)密封聯(lián)通件（300）的連通通道連通。

2.如權(quán)利要求1所述的多層層疊式層壓機(jī)，其特征在于，所述連通孔（110）設(shè)置在層壓主機(jī)（100）的四角位置。

3.如權(quán)利要求1或2所述的多層層疊式層壓機(jī)，其特征在于，所述密封聯(lián)通件（300）包括上密封環(huán)（310）和下密封環(huán)（320），所述下密封環(huán)（320）為外臺(tái)階環(huán)，其小徑端（321）設(shè)置在所述上密封環(huán)（310）的內(nèi)孔內(nèi)與上密封環(huán)的內(nèi)孔壁密封滑動(dòng)連接，由所述下密封環(huán)（320）的臺(tái)階通過(guò)杯頭螺栓（330）與所述上密封環(huán)（310）相連接，所述杯頭螺栓的軸線(xiàn)與上密封環(huán)和下密封環(huán)的孔中心線(xiàn)平行設(shè)置，所述上密封環(huán)（310）與位于上層的層壓主機(jī)（100）的下箱體的下端固定連接或與位于下層的層壓主機(jī)的下箱體的上端固定連接。

4.如權(quán)利要求3所述的多層層疊式層壓機(jī)，其特征在于，最上層層壓主機(jī)（100）的連通孔（110）的上端設(shè)置有密封裝置（120），最下層層壓主機(jī)（100）的連通孔的下端與抽真空裝置的抽真空連接管（200）相連通。

5.如權(quán)利要求3所述的多層層疊式層壓機(jī)，其特征在于，所述上密封環(huán)（310）的下部設(shè)置有容納槽（311），所述容納槽（311）內(nèi)設(shè)置有壓縮彈簧（350），所述壓縮彈簧（350）套設(shè)在所述杯頭螺栓（330）上，所述壓縮彈簧（350）的兩端分別與所述容納槽（311）的頂部和下密封環(huán)（320）的上端面相抵接，所述杯頭螺栓的螺母設(shè)置在下密封環(huán)的沉孔（352）內(nèi)。

6.如權(quán)利要求3所述的多層層疊式層壓機(jī)，其特征在于，所述上密封環(huán)（310）的上端面、下密封環(huán)（320）的下端面以及上密封環(huán)（310）的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有密封圈（340）。

7.如權(quán)利要求1所述的多層層疊式層壓機(jī)，其特征在于，還包括底座（400），所述底座（400）設(shè)置于最下層層壓主機(jī)（100）的下方，所述抽真空裝置的抽真空連接管（200）設(shè)置于所述底座（400）上。