[實用新型]一種預制棒沉積反應室

有效

• 申請號: 201820678963.0
• 申請日: 2018-05-08
• 公開（公告）號: CN208454818U
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 陳海斌;李應;王小輝;陳劍;蘭興玲;陳強;李秀鵬
• 申請（專利權）人: 成都富通光通信技術有限公司
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

1.一種預制棒沉積反應室，包括反應室(1)，所述的反應室(1)內裝置待沉積加工的靶棒(2)，其特征在于，所述的反應室(1)的側壁上設置了由沿靶棒(2)軸向排布的若干噴燈(31)構成的噴燈組(3)，在噴燈組(3)所在的反應室(1)的側壁上設置了進風口(4)，所述進風口(4)在噴燈組(3)兩側各設置有一個，在噴燈組(3)對側的反應室(1)的側壁上設置了排廢管道(5)，在噴燈組(3)所在的反應室(1)內壁上設置了導流板一(6)，所述的導流板一(6)在噴燈組(3)兩側各設置有一個并位于噴燈組(3)與進風口(4)之間。

2.根據權利要求1所述的預制棒沉積反應室，其特征在于，所述的導流板一(6)在噴燈(31)的噴射方向上的長度不超過噴燈(31)的噴射口部。

3.根據權利要求1所述的預制棒沉積反應室，其特征在于，所述的導流板一(6)距離噴燈(31)的側邊100～150mm。

4.根據權利要求1所述的預制棒沉積反應室，其特征在于，所述的兩個導流板一(6)之間的間距寬度沿著噴燈(31)的噴射方向增寬。

5.根據權利要求4所述的預制棒沉積反應室，其特征在于，所述的導流板一(6)在噴燈(31)的噴射方向上由沿噴燈(31)噴射方向的直線段和偏向于進風口(4)的斜線段構成。

6.根據權利要求5所述的預制棒沉積反應室，其特征在于，所述的斜線段與噴燈(31)的噴射方向的夾角為20～30度。

7.根據權利要求4所述的預制棒沉積反應室，其特征在于，所述的所述的兩個導流板一(6)之間的間距寬度最大處大于靶棒(2)成型得到的粉塵棒的外徑50～80mm。

8.根據權利要求1所述的預制棒沉積反應室，其特征在于，所述的排廢管道(5)所在的反應室(1)的內壁上設置了位于排廢管道(5)兩側的導流板二(7)，所述兩個導流板二(7)之間的間距寬度沿著氣流導出方向變窄。