[實(shí)用新型]一種傳感器調(diào)節(jié)裝置及腔室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820677510.6
• 申請日: 2018-05-08
• 公開（公告）號: CN208579775U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李冰;趙康寧
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00;G01D11/16
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

底座；

導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌水平設(shè)置，且固定在所述底座上；

滑塊，所述滑塊與所述導(dǎo)軌連接，且能夠沿所述導(dǎo)軌滑動，所述滑塊用于與傳感器連接；

調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動，且在所述滑塊到達(dá)預(yù)定位置時，鎖定所述滑塊的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括螺釘，所述螺釘水平設(shè)置在所述底座上，且能夠圍繞其自身軸線旋轉(zhuǎn)；并且，在所述滑塊中設(shè)置有螺紋孔，所述螺釘與所述螺紋孔相配合；通過順時針或逆時針旋轉(zhuǎn)所述螺釘，以使所述滑塊相對于所述螺釘滑動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述底座中設(shè)置有安裝孔，用于容納所述螺釘?shù)囊徊糠郑⑾薅ㄋ雎葆數(shù)膹较蛭恢谩?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌包括：與所述底座固定的固定部和可相對于所述固定部滑動的滑動部，所述滑動部與所述滑塊連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述固定部為軌道，所述滑動部位于所述軌道的一側(cè)，且能夠沿所述軌道滑動；或者，所述固定部為柱狀滑軌，所述滑動部為套設(shè)在所述柱狀滑軌上的環(huán)體，所述環(huán)體能夠沿所述柱狀滑軌滑動，且與所述滑塊連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括：彈簧，所述彈簧的軸線與所述導(dǎo)軌的延伸方向平行，且所述彈簧的一端與所述底座連接，所述彈簧的另一端與所述滑塊連接；所述彈簧用于對所述滑塊施加與所述滑塊的運(yùn)動方向相反的作用力。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述滑塊用于連接至少一個所述傳感器。

8.一種腔室，包括反應(yīng)腔、容納腔、遮蔽盤、托架、傳感器和傳感器調(diào)節(jié)裝置，其中，在所述反應(yīng)腔中設(shè)置有基座，所述容納腔與所述反應(yīng)腔連通，所述托架用于承載所述遮蔽盤，并能夠帶動所述遮蔽盤旋轉(zhuǎn)至覆蓋所述基座的位置或者所述容納腔中，所述傳感器調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在靠近所述容納腔的側(cè)壁的位置處，用于調(diào)節(jié)所述傳感器的水平位置，其特征在于，所述傳感器調(diào)節(jié)裝置采用權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的傳感器調(diào)節(jié)裝置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種腔室，其特征在于，在所述容納腔的底壁中設(shè)置有透光窗，所述傳感器和傳感器調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述容納腔的下方，且與所述透光窗相對應(yīng)的位置處。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種腔室，其特征在于，所述底座包括第一連接板和第二連接板，其中，所述第一連接板與所述容納腔的底壁固定連接，且與所述底壁相互垂直；所述第二連接板與所述透光窗相互平行，且與所述第一連接板固定連接；所述導(dǎo)軌固定在所述第二連接板上。