[實用新型]一種化學氣相沉積爐氣體預熱裝置

有效

• 申請號: 201820675737.7
• 申請日: 2018-05-07
• 公開（公告）號: CN208218961U
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 盧杰;陳濤;韓文靜;任颯
• 申請（專利權）人: 西安航空制動科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/26
• 代理公司: 中國航空專利中心 11008
• 代理人: 王中興

1.一種化學氣相沉積爐氣體預熱裝置，其特征為：所述裝置由底座(1)、底板(2)、換熱底座(3)、頂筒(5)、頂蓋(6)、換熱段(4)六部分組成；

所述底座(1)放置于爐膛底部，中心孔與爐膛進氣口對正，其外圓設計有臺階槽，用于和其上部的底板(2)裝配并實現兩者之間的內腔密封；

所述底板(2)用于安裝換熱器和承載工件，通過其外圓的臺階裝配于底座(1)之上，與底座(1)之間形成碳源氣通路；其上設計有若干個換熱器底座安裝孔(2Ⅰ)，用于在其上安裝換熱段(4)；

所述換熱底座(3)安裝于底板(2)的換熱底座安裝孔(2Ⅰ)上，通過與底板(2)的配合使碳源氣從換熱底座(3)內蜂窩孔(4Ⅱ)進入換熱底座(3)；

所述換熱段(4)為一個或若干個換熱體連接組成；與換熱底座(3)通過臺階孔裝配形成相互封閉的內環腔(7)和外環腔(8)，內環腔(7)對應的蜂窩孔氣流向上流動，外環腔(8)對應的蜂窩孔氣流向下流動；內環腔(7)和外環腔(8)的設計使換熱體之間或換熱段(4)與換熱底座(3)之間只需保證軸向對正裝配即可確保各部件蜂窩孔上下連通；

所述頂筒(5)通過其外圓的臺階裝配于換熱段(4)之上；

所述頂蓋(6)通過外圓臺階裝配于頂筒(5)上，頂蓋(6)和頂筒(5)組合將預熱氣體封閉在換熱裝置內部；頂筒(5)和頂蓋(6)組合形成的封閉腔體使上升氣流折向下進入外環腔(8)；消除了氣流沖擊導致的頂蓋(6)移位問題。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐氣體預熱裝置，其特征為：所述底座(1)的上中部設有導流筋條(1Ⅰ)，用于延長碳源氣在其上流動距離。

3.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐氣體預熱裝置，其特征為：所述換熱底座(3)外設計有密集換熱體溝槽(4Ⅰ)以增加吸熱面積，其內設計密集的內蜂窩孔(4Ⅱ)實現與碳源氣的充分接觸和換熱。

4.根據權利要求1所述的化學氣相沉積爐氣體預熱裝置，其特征為：所述頂蓋(6)上設有若干錐形突起緩沖錐(6Ⅰ)并伸入頂筒(5)內腔，用于增加頂蓋重量，避免氣流沖擊過大將頂蓋(6)吹掉或移位失效問題，錐形突起緩沖錐(6Ⅰ)還可起到緩沖上升氣流的功能。