[實用新型]一種表面納米結構磁性測量裝置

有效

• 申請號: 201820674630.0
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN208044048U
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 鄭仕華;張向平;潘天娟
• 申請（專利權）人: 金華職業技術學院
• 主分類號: G01R33/032
• 分類號: G01R33/032;G01R33/12;G01Q60/38
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種表面納米結構磁性測量裝置，主要包括激光器、延時器、1/4波片、凹透鏡、凸透鏡I、平面鏡、偏振片、分束器、凸透鏡II、透鏡臺、原子力顯微鏡I、探針I、透鏡座、物鏡、樣品、霍爾片、樣品臺、信號發生器、示波器、探測器、磁體、前置放大器、差分放大器、補償器、模數轉換器、計算機、原子力顯微鏡II、探針II、入射光路及反射光路，xyz為空間直角坐標系、xy平面為水平面，所述原子力顯微鏡II與原子力顯微鏡I結構相同，所述探針I位于原子力顯微鏡I下端，所述探針II位于原子力顯微鏡II下端，所述物鏡位于透鏡座下端，所述探針I和探針II為相同外形尺寸的原子力顯微鏡探針，所述激光器發射的激光束依次經延時器、1/4波片、凹透鏡、凸透鏡I、平面鏡、偏振片、分束器、凸透鏡II、透鏡臺、原子力顯微鏡I、探針I，從而形成入射光路，所述激光束照射到樣品表面產生的反射光依次經探針I、原子力顯微鏡I、透鏡臺、凸透鏡II、分束器，從而形成反射光路，所述反射光被分束器偏轉至所述探測器，所述透鏡臺為直徑十厘米的透光圓盤且具有中心軸，所述原子力顯微鏡I、透鏡座、原子力顯微鏡II分別位于透鏡臺下面、且均能夠相對于透鏡臺的位置微調，當透鏡臺繞其中心軸轉動時，能夠分別將原子力顯微鏡I或透鏡座或原子力顯微鏡II置于樣品正上方，所述探針I中具有通孔，所述探針II為接觸型原子力顯微鏡探針，所述探針I、探針II的外形為圓臺，所述圓臺的上底面直徑為2微米、下底面直徑為1微米，所述圓臺軸線垂直于水平面，霍爾片位于樣品臺上，通過磁控濺射方法將樣品直接接觸地制備于霍爾片上表面，所述霍爾片長為80微米、寬為50微米、厚度為150納米，特征阻抗為50歐姆，所述樣品長為10微米、寬為9微米、厚度為50納米，

其特征是：所述激光器電纜連接計算機，所述磁體、信號發生器、計算機依次電纜連接，所述示波器電纜連接霍爾片，所述探測器、前置放大器、差分放大器、模數轉換器、計算機依次電纜連接，所述補償器電纜連接差分放大器；經過所述探針I的圓臺下底面周邊上最靠x軸正方向的一點，斜向軸線一側切掉一楔形塊，探針I下底面形成一個與水平面成五度角的斜面，使得探針I在x軸正方向一側更接近樣品表面，能夠使得探針I沿x軸正方向在樣品表面掃描時不易造成針尖變形，從而避免通孔損壞；所述磁體由四個相同的子磁體通過電纜連接組成，四個子磁體分別位于一個邊長為20厘米的正方形的頂點，所述霍爾片及樣品位于所述正方形的中間，樣品臺、霍爾片及樣品能夠整體在xy平面內旋轉，旋轉范圍為正負45度。

2.根據權利要求1所述的一種表面納米結構磁性測量裝置，其特征是：所述探針I的所述通孔的直徑為500納米。