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[實用新型]一種高效氣液混合器有效

專利信息
申請號: 201820670901.5 申請日: 2018-05-07
公開(公告)號: CN208389802U 公開(公告)日: 2019-01-18
發明(設計)人: 王振交;艾凡凡;韓培育 申請(專利權)人: 蘇州中世太新能源科技有限公司
主分類號: B01F3/04 分類號: B01F3/04;B01F15/04
代理公司: 南京科知維創知識產權代理有限責任公司 32270 代理人: 梁珺
地址: 215121 江蘇省蘇州市工業*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 混合桶 氣動閥 氣體控制模塊 氣體傳輸管 直形支管 外支管 混合器 本實用新型 高效氣液 上連接筒 下連接筒 單向閥 調壓閥 混合填充料 混合效率 控制混合 穩定安全 一端連接 臭氧水 地連接 可拆卸 制程
【說明書】:

實用新型公開一種高效氣液混合器,其包括混合桶和氣體控制模塊。混合桶內設有混合填充料,混合桶包括上連接筒和下連接筒,上連接筒和所述下連接筒可拆卸地連接。氣體控制模塊連接于混合桶,氣體控制模塊包括氣體傳輸管、調壓閥、U形支管、直形支管、兩個第一氣動閥、第二氣動閥、外支管和單向閥,調壓閥設置于氣體傳輸管上,U形支管連接于氣體傳輸管的一側,直形支管并排設置于U形支管之間,兩個第一氣動閥設置于U形支管上,第二氣動閥設置于直形支管的底部,外支管的一端連接于U形支管的其中一端,單向閥設置于外支管的另一端。本實用新型混合效率高,可精確控制混合后的臭氧水濃度,不容易產生氣泡,使制程工藝更加穩定安全。

技術領域

本實用新型涉及光伏制造的水處理技術領域,特別是涉及一種高效氣液混合器。

背景技術

隨著超大規模集成電路的發展,對硅片表面的潔凈度和表面態的要求越來越高。臭氧為不穩定的氣體,具有強烈的腐蝕性和氧化性,利用臭氧超凈水清洗硅片,可滿足更加嚴格的硅片表面潔凈度及大直徑硅片工藝的要求,且大大減少對環境的污染。

目前光伏行業所使用的臭氧水主要由射流器制成,采用此種方法混合效率低,會有氣泡產生,并且無法精確控制混合后的臭氧水濃度。

實用新型內容

為了克服上述問題,本實用新型提供一種高效氣液混合器。

本實用新型的技術方案是提供一種高效氣液混合器,其包括混合桶和用以控制氣體進入所述混合桶的氣體控制模塊。所述混合桶包括上連接筒和下連接筒,所述上連接筒和所述下連接筒可拆卸地連接。所述氣體控制模塊連接于所述混合桶,所述氣體控制模塊包括氣體傳輸管、調壓閥、U形支管、直形支管、兩個第一氣動閥、第二氣動閥、外支管和單向閥,所述調壓閥設置于氣體傳輸管上,所述U形支管連接于氣體傳輸管的一側,所述直形支管并排設置于U形支管之間,所述兩個第一氣動閥設置于U形支管上,所述第二氣動閥設置于直形支管的底部,所述外支管的一端連接于U形支管的其中一端,所述單向閥設置于所述外支管的另一端。所述混合桶的頂部設置有用于臭氧氣體進出所述氣體控制模塊內的進氣口和用于液體進入所述混合桶內的進液口,所述混合桶內設置有混合填充料,用以使進入到所述混合桶內部的臭氧氣體充分與液體進行混合并融入到液體內部形成臭氧混合液,所述混合桶的底部設置有用于加工后的臭氧混合液輸出的出液口。

進一步地,所述進氣口連接所述氣體傳輸管。

進一步地,所述混合桶還包括上連接盤和下連接盤,所述上連接盤設置于所述上連接筒的底部,所述下連接盤設置于所述下連接筒的頂部,所述上連接筒和所述下連接筒通過所述上連接盤和所述下連接盤可拆卸地連接。

更進一步地,所述上連接盤和所述下連接盤之間通過螺釘組螺接。

與現有技術相比,本實用新型的一種高效氣液混合器包括有混合桶及氣體控制模塊,氣體控制模塊可根據工藝需求精確控制氣體進入混合桶,并防止液體回流到氣體管路中;混合桶內包括有混合填充料,能夠使進入到混合桶內部的臭氧氣體充分與液體進行混合,并融入到液體內部形成臭氧混合液。本實用新型混合效率高,可精確控制混合后的臭氧水濃度,不容易產生氣泡,使制程工藝更加穩定,并可防止液體回流到氣體管路,保證設備安全運行;同時,設計合理,且密封性、安全性好,工作穩定。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例的高效氣液混合器中混合桶的結構示意圖;

圖2是本實用新型一實施例的高效氣液混合器中的氣體控制模塊的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解,下面結合具體實施例,進一步闡述本實用新型。

請結合參見圖1和圖2,本實用新型的一種高效氣液混合器,其包括混合桶和氣體控制模塊2。本實施例中,混合桶包括有上連接筒1和下連接筒10。

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