[實用新型]氣體分析設備、校正設備及其氣體處理裝置

有效

• 申請號: 201820663923.9
• 申請日: 2018-05-04
• 公開（公告）號: CN208125485U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 張家如
• 申請（專利權）人: 上海密亞科技有限公司
• 主分類號: G01N1/34
• 分類號: G01N1/34;G01N33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種氣體分析設備、校正設備及其氣體處理裝置，用以處理環境氣體，包括殼體、第一緩沖槽、供氣壓縮泵、除水器、微粒過濾器以及儲氣槽。第一緩沖槽及供氣壓縮泵設于該殼體之中，其中，供氣壓縮泵從該殼體外吸取該環境氣體，并導入至第一緩沖槽。除水器連通第一緩沖槽，并去除該環境氣體的水分。微粒過濾器連通第一緩沖槽，并去除該環境氣體中的微粒。該環境氣體經過除水器以及微粒過濾器處理后成為潔凈氣體，該潔凈氣體被導入及存放于儲氣槽之中，并利用壓力感應開關來控制啟動/停止供氣壓縮泵。該實用新型具有結構簡單、使用方便、分析精度高的特點。

技術領域

本實用新型涉及氣體處理技術領域，具體是一種氣體分析設備、校正設備及其氣體處理裝置。

背景技術

現有半導體生產車間的潔凈氣體大都是統一儲存在特定的儲存槽內，并通過車間管路，在車間的特定地點提供。由于氣體分析儀、校正器等設備均需要使用潔凈氣體，因此在通常情況下，氣體分析儀等設備僅能在車間的特定地點使用，造成使用上的不便，也形成了檢測上的死角。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、使用方便、分析精度高的氣體分析設備、校正設備及其氣體處理裝置。

為了實現上述目的，本實用新型一種氣體處理裝置，包括殼體，第一緩沖槽，設于所述殼體之中；供氣壓縮泵，設于所述殼體之中，其中，供氣壓縮泵從所述殼體外吸取環境氣體，并將環境氣體導入至所述第一緩沖槽；除水器，設于所述殼體之中，連通所述第一緩沖槽，并去除所述環境氣體的水分；微粒過濾器，設于所述殼體之中，連通所述第一緩沖槽，并去除環境氣體中的微粒；儲氣槽，設于所述殼體之中，其中，環境氣體經過所述除水器以及微粒過濾器處理后成為一潔凈氣體，潔凈氣體被導入及存放于所述儲氣槽之中。

上述的氣體處理裝置，其中，所述儲氣槽內的氣體壓力大于1大氣壓。

上述的氣體處理裝置，其中，還包括滾輪，設于所述殼體底部。

上述的氣體處理裝置，其中，還包括環形管，設于所述殼體之中，并連通所述第一緩沖槽。

上述的氣體處理裝置，其中，還包括卸水儲水瓶，所述卸水儲水瓶連接所述除水器。

上述的氣體處理裝置，其中，還包括干燥器，設于所述殼體之中。

上述的氣體處理裝置，其中，還包括控制單元，所述控制單元根據所述儲氣槽所提供氣體壓力，控制所述供氣壓縮泵的運作。

一種氣體分析設備，包括：

上述氣體處理裝置；

氣體分析儀，連通所述儲氣槽，所述氣體處理裝置對所述氣體分析儀供應所述潔凈氣體。

上述的氣體分析設備，其中，還包括第二緩沖槽以及真空泵，所述第二緩沖槽連通所述氣體分析儀，所述真空泵連接所述第二緩沖槽。

一種校正設備，包括：

上述氣體處理裝置；

校正器，連通所述儲氣槽，所述氣體處理裝置對所述校正器供應所述潔凈氣體。

上述的校正設備，其中，還包括第二緩沖槽以及真空泵，所述第二緩沖槽連通所述校正器，所述真空泵連接所述第二緩沖槽。

本實用新型中，由于將第一緩沖槽、供氣壓縮幫浦、除水器、微粒過濾器、環形管、干燥器、卸水儲水瓶以及儲氣槽等組件整合在氣體處理裝置之中，因此可在車間各處將環境氣體凈化為潔凈氣體，并將該潔凈氣體供分析儀、校正器等裝置使用。

實用新型的有益效果是：結構簡單、使用方便、分析精度高。

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。

附圖說明