[實(shí)用新型]一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820660368.4 | 申請(qǐng)日： | 2018-05-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN208700441U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 郭城;呂明;王永超;郭英云 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 山東科芯電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B66C23/16 | 分類(lèi)號(hào)： | B66C23/16;B66C23/62;B66C23/82;B66C3/04 |
| 代理公司： | 青島高曉專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 黃曉敏 |
| 地址： | 250101 山東省濟(jì)*** | 國(guó)省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 升降桿 搖臂桿 液壓缸 抓手 機(jī)械吊臂 銷(xiāo)軸鉸接 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 旋轉(zhuǎn)桿 濕法蝕刻裝置 底座 花籃 抓取 半導(dǎo)體硅片 升降液壓缸 控制升降 底座處 內(nèi)旋轉(zhuǎn) 工位 盛放 銜接 | ||
1.一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：包括底座（1）、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（2）、旋轉(zhuǎn)桿（3）、液壓缸二（4）、搖臂桿（5）、升降桿（6）、抓手（8）、液壓缸三（7），所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（2）固定在底座（1）上，所述旋轉(zhuǎn)桿（3）與搖臂桿（5）銷(xiāo)軸鉸接；所述液壓缸二（4）一端固定于旋轉(zhuǎn)桿（3）上，另一端固定于搖臂桿（5）上；所述搖臂桿（5）與升降桿（6）銷(xiāo)軸鉸接；所述抓手（8）與升降桿（6）銷(xiāo)軸鉸接；所述液壓缸三（7）一端固定于升降桿（6）上，另一端固定于抓手（8）上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)桿(3)為圓柱形桿件，包括第一段軸（301），第二段軸（302）和第三段軸（303），各段軸之間的過(guò)渡包括旋轉(zhuǎn)桿第一軸肩（304）和旋轉(zhuǎn)桿第二軸肩（305）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：所述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（2）包括液壓缸一（201）、齒輪一（202）、齒輪二（203）、套筒（204）、軸承一（205）、軸承二（206）、壓板（207），所述液壓缸一（201）垂直固定于地面上，所述液壓缸一（201）柱塞與齒輪一（202）軸孔配合；所述齒輪一（202）與齒輪二（203）嚙合，所述齒輪二（203）軸孔與旋轉(zhuǎn)桿（3）第一段軸（301）配合并定位于旋轉(zhuǎn)桿第一軸肩（304）處；所述軸承一（205）固定于旋轉(zhuǎn)桿第二軸肩（305）與套筒第一軸肩（2044）之間，所述軸承一（205）內(nèi)孔與旋轉(zhuǎn)桿第二段軸（302）配合，外孔與套筒第二內(nèi)孔（2042）配合；所述軸承二（206）固定于套筒第二軸肩（2045）處和壓板（207）之間，所述軸承二內(nèi)孔與旋轉(zhuǎn)桿第三段軸（303）配合，外孔與套筒第三內(nèi)孔（2043）配合；所述套筒（204）固定在底座（1）上，上端與壓板（207）固定在一起。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：所述的套筒（204）包括第一內(nèi)孔（2041）、第二內(nèi)孔（2042）和第三內(nèi)孔（2043），所述套筒各內(nèi)孔之間的過(guò)渡包括第一軸肩（2044）和第二軸肩（2045）。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：所述的液壓缸二（4）一端與旋轉(zhuǎn)桿（3）之間通過(guò)銷(xiāo)軸鉸接，另一端與搖臂桿（5）通過(guò)銷(xiāo)軸鉸接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：所述升降桿（6）下端為叉形結(jié)構(gòu)，叉形結(jié)構(gòu)下端分別通過(guò)銷(xiāo)軸與抓手（8）鉸接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：所述的液壓缸三（7）一端與升降桿（6）叉形端通過(guò)銷(xiāo)軸鉸接，另一端與抓手（8）通過(guò)銷(xiāo)軸鉸接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種濕法蝕刻裝置用機(jī)械吊臂，其特征在于：所述的抓手（8）一端通過(guò)銷(xiāo)軸與升降桿（6）叉形端鉸接，另一端為彎鉤形。
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B66C 起重機(jī)；用于起重機(jī)、絞盤(pán)、絞車(chē)或滑車(chē)的載荷吊掛元件或裝置
B66C23-00 起重機(jī)，主要由一根梁、臂架或起懸臂作用的三角構(gòu)架組成，并且安裝成能在垂直或水平平面內(nèi)作移動(dòng)或擺動(dòng)，或者兩種運(yùn)動(dòng)一起進(jìn)行，如懸臂起重機(jī)、桅桿起重機(jī)、塔式起重機(jī)
B66C23-02 . 懸臂安裝成只可用來(lái)回轉(zhuǎn)而不能調(diào)節(jié)且不能變幅的
B66C23-04 . 在作業(yè)中懸臂的有效長(zhǎng)度可變化的，如徑向位置可變的，可伸展的
B66C23-06 . 懸臂安裝成可變幅的或俯仰運(yùn)動(dòng)的
B66C23-16 . 懸臂支承于立柱上的，如支承在下端安裝成可回轉(zhuǎn)的塔架上
B66C23-18 . 專(zhuān)門(mén)適用于特定地區(qū)或特殊目的的
