[實(shí)用新型]氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820657443.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-05-04 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208109539U | 公開(公告)日: | 2018-11-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 莫皓然;薛達(dá)偉;莫立邦;陳世昌;黃啟峰;韓永隆 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 研能科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | G01N1/28 | 分類號(hào): | G01N1/28;B01D19/00;B01D15/10 |
| 代理公司: | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人: | 喻學(xué)兵 |
| 地址: | 中國臺(tái)灣新竹市*** | 國省代碼: | 中國臺(tái)灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 流路 吸附力 導(dǎo)氣通路 分離系統(tǒng) 流路單元 成形層 堆疊 填充 牽引 半導(dǎo)體制程 環(huán)路連通 連續(xù)延伸 底基材 氣相層 上基材 相層 | ||
1.一種氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,包含:
一分離流路,由半導(dǎo)體制程制出的多個(gè)流路單元堆疊組成,每個(gè)該流路單元是由一底基材上制出一成形層再堆疊一上基材所構(gòu)成,且于該成形層生成出一連續(xù)延伸環(huán)路連通的導(dǎo)氣通路,該上基材并生成出一導(dǎo)氣入口,連通于該導(dǎo)氣通路一端,以及該底基材生成一導(dǎo)氣出口,連通于該導(dǎo)氣通路另一端,位于上層的該流路單元的該導(dǎo)氣出口連通位于底層的該流路單元的該導(dǎo)氣入口,促使堆疊的該每個(gè)流路單元的該導(dǎo)氣通路得以相互連通;以及
一填充材,設(shè)置于該分離流路的該導(dǎo)氣通路中;
借此,一受測(cè)樣品由該導(dǎo)氣入口導(dǎo)入流通于該分離流路的該導(dǎo)氣通路中,該受測(cè)樣品受該導(dǎo)氣通路上該填充材以進(jìn)行各成份的化合物的吸附分離,該受測(cè)樣品所含各成份化合物以不同速度導(dǎo)出于該導(dǎo)氣出口進(jìn)行測(cè)定分析與紀(jì)錄。
2.如權(quán)利要求1所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該填充材為具有吸附性的多孔聚合物,填充設(shè)置于該導(dǎo)氣通路中。
3.如權(quán)利要求1所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該填充材為具有吸附性的分子篩材料,填充設(shè)置于該導(dǎo)氣通路中。
4.如權(quán)利要求1所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該填充材為一填充載體上覆蓋均勻具有吸附功能的固定液膜,填充設(shè)置于該導(dǎo)氣通路中。
5.如權(quán)利要求4所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該填充載體為硅的氧化物,表面具有羥基得將該固定液膜植上。
6.如權(quán)利要求1所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該填充材為固定液膜直接涂布在該分離流路的導(dǎo)氣通路之內(nèi)壁表面附著。
7.如權(quán)利要求1所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該填充材為固定液膜直接濺鍍?cè)谠摲蛛x流路的導(dǎo)氣通路之內(nèi)壁表面附著。
8.如權(quán)利要求1所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該分離流路的該導(dǎo)氣入口連接一泵,該泵透過一管路連通一氣路系統(tǒng)及一樣品注入系統(tǒng),該氣路系統(tǒng)由一載體氣體供應(yīng)源及一穩(wěn)壓恒流裝置透過該管路連接而受該泵導(dǎo)出流速穩(wěn)定的一載體氣體進(jìn)入該分離流路的該導(dǎo)氣通路中,該樣品注入系統(tǒng)由一注入裝置透過該管路連接,而使該受測(cè)樣品由該注入裝置注入后,受該泵導(dǎo)入該分離流路的該導(dǎo)氣通路中。
9.如權(quán)利要求8所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該泵為一微機(jī)電系統(tǒng)泵。
10.如權(quán)利要求8所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該泵為一氣體泵,其包含:
一噴氣孔片,包含多個(gè)支架、一懸浮片及一中空孔洞,該懸浮片可彎曲振動(dòng),該多個(gè)支架鄰接于該懸浮片周緣,而該中空孔洞形成于該懸浮片的中心位置,透過該多個(gè)支架設(shè)置定位該管路中,并提供彈性支撐該懸浮片,該噴氣孔片與該管路之間形成一氣流腔室,且該多個(gè)支架及該懸浮片之間形成至少一空隙;
一腔體框架,承載疊置于該懸浮片上;
一致動(dòng)體,承載疊置于該腔體框架上,以接受電壓而產(chǎn)生往復(fù)式地彎曲振動(dòng);
一絕緣框架,承載疊置于該致動(dòng)體上;以及
一導(dǎo)電框架,承載疊設(shè)置于該絕緣框架上;其中,該致動(dòng)體、該腔體框架及該懸浮片之間形成一共振腔室,透過驅(qū)動(dòng)該致動(dòng)體以帶動(dòng)該噴氣孔片產(chǎn)生共振,使該噴氣孔片的該懸浮片產(chǎn)生往復(fù)式地振動(dòng)位移,以造成該載體氣體及該受測(cè)樣品通過該至少一空隙進(jìn)入該氣流腔室,再由該氣體流道排出,實(shí)現(xiàn)該載體氣體及該受測(cè)樣品的傳輸流動(dòng)。
11.如權(quán)利要求10所述的氣相層析設(shè)備的分離系統(tǒng),其特征在于,該致動(dòng)體包含:
一壓電載板,承載疊置于該腔體框架上;
一調(diào)整共振板,承載疊置于該壓電載板上;以及
一壓電板,承載疊置于該調(diào)整共振板上,以接受電壓而驅(qū)動(dòng)該壓電載板及該調(diào)整共振板產(chǎn)生往復(fù)式地彎曲振動(dòng)。
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