[實(shí)用新型]適用于質(zhì)量流量混合法的混氣灌充誤差補(bǔ)償裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820656841.1
• 申請(qǐng)日: 2018-05-03
• 公開（公告）號(hào): CN208169990U
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁五行;蔡洪波;李群;李寶明;舒廣銘;王鑫;閆博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 丁五行
• 主分類號(hào): F17C5/06
• 分類號(hào): F17C5/06;F17C13/02;F17C13/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 王征;黃健

1.一種適用于質(zhì)量流量混合法的混氣灌充誤差補(bǔ)償裝置，其特征在于，包括：

混合緩沖罐，設(shè)置有分別用于通入第一氣體和第二氣體的兩個(gè)進(jìn)氣通道，所述兩個(gè)進(jìn)氣通道上分別設(shè)置有第一流量控制器和第二流量控制器；所述混合緩沖罐還設(shè)置有排氣通道，通過增壓裝置與高壓開關(guān)設(shè)備連通；

壓力傳感器，用于獲取所述高壓開關(guān)設(shè)備中壓力；

氣體純度測(cè)試裝置，用于獲取所述高壓開關(guān)設(shè)備內(nèi)第一氣體的濃度；

控制系統(tǒng)，與所述第一流量控制器、所述第二流量控制器、所述壓力傳感器以及所述氣體純度測(cè)試裝置信號(hào)連接；

所述控制系統(tǒng)能夠在灌充校正階段向所述第一流量控制器和所述第二流量控制器發(fā)送第一控制信號(hào)以使所述第一流量控制器和所述第二流量控制器根據(jù)所述第一控制信號(hào)將所述第一氣體和所述第二氣體以第一氣體目標(biāo)濃度C灌充至所述混合緩沖罐混合后注入高壓開關(guān)設(shè)備，至從所述壓力傳感器獲取到的高壓開關(guān)設(shè)備中壓力達(dá)到預(yù)設(shè)的灌充校正階段目標(biāo)壓力P₀；并從所述氣體純度測(cè)試裝置獲取所述高壓開關(guān)設(shè)備內(nèi)的第一氣體的實(shí)測(cè)濃度C₀；

所述控制系統(tǒng)還能夠在補(bǔ)償階段根據(jù)補(bǔ)償階段的第一氣體灌充濃度及灌充修正系數(shù)k向所述第一流量控制器和所述第二流量控制器發(fā)送第二控制信號(hào)以使所述第一流量控制器和所述第二流量控制器根據(jù)所述第二控制信號(hào)將所述第一氣體和所述第二氣體灌充至所述混合緩沖罐混合后注入高壓開關(guān)設(shè)備，至從所述壓力傳感器獲取到的高壓開關(guān)設(shè)備中壓力達(dá)到灌充終點(diǎn)壓力P，其中所述灌充修正系數(shù)k是根據(jù)所述實(shí)測(cè)濃度C₀及所述目標(biāo)濃度C獲取的，所述補(bǔ)償階段的第一氣體灌充濃度是根據(jù)所述實(shí)測(cè)濃度C₀、所述目標(biāo)濃度C、所述灌充校正階段目標(biāo)壓力P₀及灌充終點(diǎn)壓力P獲取的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括：

恒溫加熱裝置，與所述控制系統(tǒng)信號(hào)連接，所述恒溫加熱裝置設(shè)置于所述第一流量控制器和第二流量控制器前，使所述第一氣體和所述第二氣體分別經(jīng)所述恒溫加熱裝置加熱至溫度相同后進(jìn)入所述第一流量控制器和第二流量控制器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，還包括：

溫度傳感器，與所述控制系統(tǒng)信號(hào)連接，用于檢測(cè)進(jìn)入所述恒溫加熱裝置的所述第一氣體的溫度和所述第二氣體的溫度，并發(fā)送給所述控制系統(tǒng)，以使所述控制系統(tǒng)根據(jù)所述第一氣體的溫度和所述第二氣體的溫度向所述恒溫加熱裝置發(fā)送加熱控制信號(hào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)包括通信組件、處理器及存儲(chǔ)器；

所述通信組件與所述第一流量控制器、所述第二流量控制器、所述壓力傳感器以及所述氣體純度測(cè)試裝置信號(hào)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述通信組件為無線通信組件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述氣體純度測(cè)試裝置設(shè)置于所述高壓開關(guān)設(shè)備上，且所述氣體純度測(cè)試裝置設(shè)置有無線通信模塊，與所述通信組件無線連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述氣體純度測(cè)試裝置還設(shè)置有可充電電池，用于對(duì)所述氣體純度測(cè)試裝置供電。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述恒溫加熱裝置為氣體加熱過濾器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述第一氣體為SF₆氣體，所述第二氣體為N₂氣體或CF₄氣體。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，還包括：

分別盛裝有所述第一氣體和所述第二氣體的兩個(gè)氣瓶，所述兩個(gè)氣瓶分別與一所述進(jìn)氣通道連接。