[實用新型]光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置

有效

• 申請號: 201820656776.2
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN208076921U
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 蘇佳妮;齊月靜;王宇;盧增雄;楊光華;齊威
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 郎志濤

1.一種光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，用于調整傳輸光路系統中的光斑，所述傳輸光路系統包括多個反射鏡裝置，其特征在于，所述輔助調整裝置包括第一輔助架和第二輔助架，所述第一輔助架和所述第二輔助架能夠分別安裝在不同的所述反射鏡裝置上，所述第一輔助架的前端表面設有透光的標記部，所述標記部位于所述第一輔助架的中心，所述第一輔助架的后端設有能夠與所述反射鏡裝置或激光光源相配合連接的第一接口，所述第二輔助架的前端設有反射元件，所述第二輔助架的后端設有能夠與所述反射鏡裝置相配合連接的第二接口，所述激光光源發出的光線能夠穿過所述第一輔助架的所述標記部在所述反射鏡裝置的表面成像形成第一光斑，并且所述第一光斑能夠經所述第二輔助架的所述反射元件反射后返回至所述第一輔助架。

2.根據權利要求1所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述第一輔助架和所述第二輔助架的中心連線豎直或水平。

3.根據權利要求1所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述標記部的形狀為狹長的十字型或米字型。

4.根據權利要求1所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述反射元件為平面鏡或曲面鏡。

5.根據權利要求4所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述反射元件的表面鍍有金屬反射膜。

6.根據權利要求4所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述反射元件可拆卸地安裝在所述第二輔助架的邊框內，所述邊框不透光。

7.根據權利要求1中所述的光刻光源傳輸光路系統的輔助調整裝置，其特征在于，所述第一輔助架和所述第二輔助架的形狀相同。