[實用新型]一種應用于半導體工藝的運輸推車

有效

• 申請號: 201820646148.6
• 申請日: 2018-05-03
• 公開（公告）號: CN208240638U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 孫順清
• 申請（專利權）人: 晶晨半導體（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/673
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型提供一種應用于半導體工藝的運輸推車，包括車身由固定支架組成，固定支架的邊緣設置滑槽，固定支架的底部設有滾輪；至少一支撐板，水平設置于固定支架上，每層支撐板的邊緣設置與滑槽相匹配的滑塊，每層支撐板上還設置一收納室；驅動裝置包括軸承及電機，軸承設置于每層支撐板的下方，電機驅動軸承帶動滑塊于滑槽內滑動，以帶動每層支撐板運動；觸控面板電連接驅動裝置；防震裝置，設置于固定支架與滾輪之間。有益效果在于：采用電機驅動和觸控面板操作多層支撐板，并且每層支撐板上設置收納室，便于分類收集小的半導體器件，車身底部設置防震裝置與腳撐，起到防震效果和防止滑動的效果，使得運輸推車的制動性和穩定性更好。

技術領域

本實用新型涉及半導體工藝技術領域，尤其涉及一種應用于半導體工藝的運輸推車。

背景技術

在半導體工藝的制造過程中，半導體設備的零配件的尺寸越來越大，對于半導體裝置和半導體器件的搬運過程中，全自動化操作是很難實現的，因此在搬運環節上存在隱患。

現有技術中通常是采用多層隔板的手推車來搬運，在手推車的設計結構上存在明顯的缺陷，(1)每層隔板是固定不變的，工作人員在拿取半導體裝置時不方便，甚至會造成半導體裝置的損壞；(2)每層隔板的周圍未設計保護結構，在運輸過程中可能會造成半導體裝置的滑落；(3)未設計防震裝置，在制動或者推動過程中，會造成損壞；(4)未涉及小型的半導體器件的收納裝置，對于精密性高的半導體器件來說，會造成一定的污染，進一步地帶來經濟損失。

發明內容

針對現有技術中存在的上述問題，現提供一種應用于半導體工藝的運輸推車。

具體技術方案如下：

一種應用于半導體工藝的運輸推車，其中包括：

一車身，所述車身由固定支架組成，所述固定支架的邊緣設置滑槽，所述固定支架的底部設有滾輪；

至少一支撐板，水平設置于所述固定支架上，每層所述支撐板的邊緣設置與所述滑槽相匹配的滑塊，每層所述支撐板上還設置一收納室；

一顯示控制裝置，包括驅動裝置、觸控面板；

所述驅動裝置包括軸承及電機，所述軸承設置于每層所述支撐板的下方，所述電機驅動所述軸承，所述軸承帶動所述滑塊于所述滑槽內滑動，以帶動每層所述支撐板運動；

所述觸控面板電連接所述驅動裝置，以控制每層所述支撐板的水平移動或停止；

一防震裝置，設置于所述固定支架與所述滾輪之間。

優選的，還包括一推車手柄，于所述支撐板上所述收納室位于靠近所述推車手柄的一側。

優選的，每層所述支撐板的邊緣設有檔桿。

優選的，所述電機為直流電機，具有可充電電源。

優選的，所述觸控面板上還設置有開關按鈕、前進按鈕、后退按鈕及停止按鈕。

優選的，所述收納室的側面開設有開口。

優選的，所述滾輪至少設置為四個。

優選的，數量與所述滾輪對應的所述防震裝置為硬性彈簧。

優選的，所述固定支架的底部還設置數量與所述滾輪對應的腳撐。

本實用新型的技術方案有益效果在于：采用多層支撐板，可以放置多種半導體裝置，并且每層支撐板上設置收納室，便于分類收集小的半導體器件，采用電機驅動和觸控面板操作，進一步提高工作人員的工作效率，同時車身底部設置防震裝置與腳撐，起到防震效果和防止滑動的效果，進一步使得運輸推車的制動性和穩定性更好。

附圖說明

圖1為本實用新型中，關于運輸推車的整體結構示意圖。