[實用新型]一種用于生產清槽劑的限流閥

有效

• 申請號: 201820645818.2
• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN208605674U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 彭小英
• 申請（專利權）人: 吉安宏達秋科技有限公司
• 主分類號: F16K11/14
• 分類號: F16K11/14;F16K31/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于生產清槽劑的限流閥，包括豎直的進液管、位于所述進液管上的進液閥門、三個連接至所述進液管上的水平的支管、連接于所述支管的筒狀的閥體、位于所述閥體內的柱狀的閥芯；三個密封釘分別包括筒狀部以及位于筒狀部端部的帽部，所述帽部的遠離所述筒狀部的一端為球面狀，所述筒狀部的外側壁設置有若干過水槽。采用上述技術方案，能夠對流量進行控制，從而在不使用液泵的情況下達到控制流量的目的，進而保證生產安全。

技術領域

本實用新型涉及一種用于生產清槽劑的限流閥，屬于蝕刻液生產設備技術領域。

背景技術

蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和干蝕刻(dry etching)兩類。最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板，銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等的加工；經過不斷改良和工藝設備發展，亦可以用于航空、機械、化學工業中電子薄片零件精密蝕刻產品的加工，特別在半導體制程上，蝕刻更是不可或缺的技術。清槽劑用于清潔蝕刻槽噴嘴、滾輪以及蝕刻槽壁干膜、濕膜分解物和附著物。通常清槽劑的制備是通過將原料按照配比進行混合，混合后形成的清槽劑注入藥水罐進行存儲。現有的清槽劑在進行灌注時，通常要使用到液泵，然而由于清槽劑具有腐蝕性，因此會對液泵造成損壞。因此可以采用的方式是在二樓設置混合罐，在一樓設置藥水罐，通過清槽劑自身的重力作用進行灌注。但這種方式在灌注過程中得不到液泵的流量控制，導致快灌滿時容易造成清槽劑飛濺出來，造成浪費，也造成腐蝕危險。

實用新型內容

因此，本實用新型的目的在于提供一種不使用液泵進行灌注的用于生產清槽劑的限流閥。

為了實現上述目的，本實用新型的一種用于生產清槽劑的限流閥，包括豎直的進液管、位于所述進液管上的進液閥門、三個連接至所述進液管上的水平的支管、連接于所述支管的筒狀的閥體、位于所述閥體內的柱狀的閥芯；三個密封釘分別包括筒狀部以及位于筒狀部端部的帽部，所述帽部的遠離所述筒狀部的一端為球面狀，所述筒狀部的外側壁設置有若干過水槽；三個所述密封釘的筒狀部分別插入到三個所述支管內，在每個所述支管的連接于所述閥體的管口位置分別設置有密封環，所述帽部能夠壓在所述密封環上對所述支管進行密封；在所述筒狀部內側設置有一壓縮彈簧，所述壓縮彈簧一端頂在所述進液管的內側壁上，另一端頂住所述帽部；所述閥芯上設置有豎直的滑槽，所述滑槽包括位于上部的讓位槽部以及位于下部的壓緊槽部，所述讓位槽部與所述壓緊槽部之間為傾斜的過渡段；當所述帽部頂在所述讓位槽部的槽底時所述帽部與所述密封環具有間隙，當所述帽部頂在所述壓緊槽部時所述帽部壓緊所述密封環；所述閥芯的下端連接有立桿，所述立桿的下端設置有浮體；在所述閥芯內設置有過水通道，所述過水通道一端連通于所述壓緊槽部，另一端連通于所述閥芯的下端面；所述閥體的下部設置有用于擋住所述閥芯的擋環。

所述浮體為環氧樹脂泡沫材質。

采用上述技術方案，本實用新型的用于生產清槽劑的限流閥，由于將混合罐放置于二樓，而藥水罐設置于一樓，因此不需要使用液泵進行抽取，利用清槽劑的重力就能夠流入藥水罐內；由于本實用新型中不需要使用液泵，因此對于灌注過程中的流量就得不到液泵的控制，因此設置了限流閥，通過限流閥上的三個支管進行注液，并且隨著浮體上升并通過立桿帶動閥芯上移，從而能夠首先封閉一個支管，使灌注的總體流量減小，然后閥芯繼續上升再封閉一個支管，使灌注的總體流量再次減小，最后當藥水罐灌滿時閥芯將最后一個支管封閉，從而通過這種方式對流量進行控制。采用上述技術方案，能夠對流量進行控制，從而在不使用液泵的情況下達到控制流量的目的，進而保證生產安全。

附圖說明

圖1為清槽劑的生產工藝裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

以下通過附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明。