[實用新型]探頭

有效

• 申請號: 201820645167.7
• 申請日: 2018-05-02
• 公開（公告）號: CN208255271U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 吳露;張千;王開安;陳健強
• 申請（專利權）人: 成都安瑞芯科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/073;G01R31/00
• 代理公司: 成都帝鵬知識產權代理事務所(普通合伙) 51265
• 代理人: 黎照西

本實用新型涉及壓電材料檢測技術領域，尤其涉及一種探頭。本實用新型的探頭包括絕緣連接的壓電芯片和檢測探針，所述壓電芯片包括相對的兩個表面，其中一個表面接地，所述檢測探針觸碰壓電膜樣品時可檢測壓電膜樣品的非接地表面和壓電芯片的非接地表面上分別產生的電壓信號。本實用新型的探頭可以基于壓電膜的一個表面去進行壓電參數的檢測，無須破壞壓電膜，操作比較簡單，檢測效率高。

【技術領域】

本實用新型涉及壓電材料檢測技術領域，尤其涉及一種探頭。

【背景技術】

壓電材料是受到壓力作用時會在兩端面件出現電壓的晶體材料，而壓電材料最重要的材料參數就是壓電參數D₃₃。

現有的測量壓電材料的壓電參數的方式都是通過將壓電膜制成小塊狀，對小塊狀的壓電膜的上下表面施加一定的力，通過測試壓電膜上下表面產生的電壓來計算得到壓電膜的壓電參數D₃₃。因此，每次檢測時都需要破壞壓電膜樣品，而且一定要在壓電膜的上下表面同時施加力，操作過程比較繁瑣，只能單獨一個一個位置去依次檢測，無法同時針對壓電膜的多個位置進行檢測，檢測效率低下，檢測結果也很不精準。

【實用新型內容】

針對上述問題，本實用新型提供一種探頭。

本實用新型解決技術問題的方案是提供一種探頭，其用于測試壓電膜樣品施壓后產生的電壓信號，所述壓電膜樣品一表面接地，所述探頭包括連接的壓電芯片和檢測探針，所述壓電芯片包括相對的兩個表面，其中一個表面接地，當所述檢測探針對壓電膜樣品任一表面施壓時，壓電膜所產生反作用力通過檢測探針傳給壓電芯片使壓電膜樣品的非接地表面以及壓電芯片的非接地表面上會分別產生電壓信號并被探頭檢測。

優選地，所述探頭進一步包括參比信號線和樣品信號線，所述樣品信號線與壓電膜樣品的非接地表面連接，所述參比信號線與壓電芯片的非接地表面連接，所述樣品信號線和參比信號線還用于與外部數據處理裝置連接。

優選地，所述探頭還包括絕緣層，所述絕緣層包裹在參比信號線、壓電芯片、檢測探針和樣品信號線的外圍，且壓電芯片和檢測探針之間通過絕緣層連接。

優選地，所述探頭進一步包括金屬外殼，所述金屬外殼為中空結構，所述壓電芯片、參比信號線、檢測探針、絕緣層和樣品信號線至少部分收容在該中空結構內，且所述絕緣層與金屬外殼之間無空隙，所述金屬外殼用于與位移裝置連接，所述壓電芯片的一個表面通過金屬外殼接地。

優選地，所述壓電膜樣品遠離檢測探針的表面和壓電芯片靠近檢測探針的表面接地設置，所述樣品信號線與檢測探針連接，所述參比信號線與壓電芯片遠離檢測探針的表面連接。

優選地，所述檢測探針接地設置且與壓電芯片靠近檢測探針的表面連接，所述樣品信號線與壓電膜樣品遠離檢測探針的表面連接，所述參比信號線與壓電芯片遠離檢測探針的表面連接。

優選地，所述檢測探針一端絕緣，相對的另一端導電，檢測探針絕緣的一端與壓電芯片靠近檢測探針的表面連接，檢測探針導電的一端靠近壓電膜樣品設置。

優選地，所述探頭進一步包括彈性過渡件，所述彈性過渡件一端與壓電芯片靠近檢測探針的表面連接，另一端與檢測探針連接，所述彈性過渡件為絕緣材質。

優選地，所述探頭進一步包括連接件、彈性件和固定件，所述固定件用于與位移裝置連接，所述彈性件一端與固定件連接，一端與連接件連接，所述連接件與金屬外殼連接。

優選地，所述探頭包括多個檢測探針，多個檢測探針呈陣列排布或線性排布。