[實用新型]硅晶電池藍膜檢測系統(tǒng)及其圖像采集裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820625727.2
• 申請日: 2018-04-28
• 公開（公告）號: CN208127149U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設計）人: 金秉文;戴云霄;呂輝;徐瓊;吳群策
• 申請（專利權）人: 杭州利珀科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L31/18
• 代理公司: 杭州宇信知識產權代理事務所(普通合伙) 33231
• 代理人: 胡小龍

本實用新型公開了一種硅晶電池藍膜檢測系統(tǒng)及其圖像采集裝置，包括用于遮蔽外界光線且下端開口的箱體組件，所述箱體組件的下方設有位于被測硅晶電池片下方的背景板，所述箱體組件內設有位于所述被測硅晶電池片上方并照射所述被測硅晶電池片的光源組件，且所述箱體組件內還設有用于對所述被測硅晶電池片拍照的相機。本實用新型的還公開了一種硅晶電池藍膜檢測系統(tǒng)。本實用新型的硅晶電池藍膜檢測系統(tǒng)及其圖像采集裝置，能夠實現(xiàn)對硅晶電池藍膜缺陷的檢測，并提高生產效率，降低工人勞動強度和成本。

技術領域

本實用新型屬于利用光學手段來測試和分析材料的技術領域，具體的為一種硅晶電池藍膜檢測系統(tǒng)及其圖像采集裝置。

背景技術

太陽能電池又稱為“太陽能芯片”或“光電池”，是一種利用太陽光直接發(fā)電的光電半導體薄片。太陽能電池的應用已從軍事領域、航天領域進入工業(yè)、商業(yè)、農業(yè)、 通信、家用電器以及公用設施等部門，尤其可以分散地在邊遠地區(qū)、高山、沙漠、海島和農村使用，以節(jié)省造價很貴的輸電線路。尤其是晶體硅太陽能電池片,設備成本相對較低，光電轉換效率也高，在室外陽光下發(fā)電比較適宜。硅晶電池主要有8個生產流程，包括硅片檢測、表面制絨、擴散制結、去鱗硅玻璃、等離子刻蝕、渡減反射膜、絲網印刷、快速燒結等。

晶硅電池生產中為了提高晶體硅對太陽光的利用效率，通常通過等離子體增強化學氣相沉積法（簡稱PECVD）在拋光硅表面沉積氮化硅薄膜（多為藍色，故稱藍膜片）。在PECVD之前遺留以及在PECVD過程中可能會產生的白點、臟污、異物、白邊、色差、刻蝕印、水紋等缺陷，這些缺陷嚴重影響了晶硅電池片的質量，因此，在PECVD工序后，需對含有缺陷的晶硅片電池進行返工，以有效提高晶硅片電池的質量。

在傳統(tǒng)的電池片生產過程中，藍膜缺陷片的挑選多數(shù)由經過嚴格訓練的工人進行手工篩選，費事費力。隨著電池片生產企業(yè)自動化程度的提高，對于藍膜缺陷片的自動篩選的需求越來越高。

本發(fā)明提出利用機器視覺的方案提高人工對藍膜缺陷片進行自動篩選，檢測精度與準確度高于一般檢測工人，能夠替代人工實現(xiàn)自動篩選。

發(fā)明內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種硅晶電池藍膜檢測系統(tǒng)及其圖像采集裝置，能夠實現(xiàn)對硅晶電池藍膜缺陷的檢測，并提高生產效率，降低工人勞動強度和成本。

為達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

本實用新型首先提出了一種硅晶電池藍膜圖像采集裝置，包括用于遮蔽外界光線且下端開口的箱體組件，所述箱體組件的下方設有位于被測硅晶電池片下方的背景板，所述箱體組件內設有位于所述被測硅晶電池片上方并照射所述被測硅晶電池片的光源組件，且所述箱體組件內還設有用于對所述被測硅晶電池片拍照的相機。

進一步，所述箱體組件內設有光源安裝板，所述光源安裝板上設有位于所述背景板正上方的透光孔，且所述光源安裝板上設有位于所述透光孔四周的面板燈。

進一步，所有的所述面板燈圍成一周，且所有的所述面板燈圍成幾何尺寸沿著豎直向下的方向逐漸增大的圓錐形或方錐形結構。

進一步，所述箱體組件內設有相機固定板，所述相機固定板上設有相機安裝調節(jié)機構；所述相機安裝調節(jié)機構包括擺動調節(jié)塊和設置在所述相機固定板上的水平轉軸，所述擺動調節(jié)塊旋轉配合安裝在所述水平轉軸上；所述相機上設有與所述擺動調節(jié)塊單自由度滑動配合的調節(jié)軸；所述調節(jié)軸的軸線水平并與所述水平轉軸的軸線之間空間垂直。

進一步，所述箱體組件內設有第一豎直導向軸，所述光源安裝板滑動配合安裝在所述第一豎直導向軸上；所述第一豎直導向軸上還安裝設有與其滑動配合的中間固定板，所述中間固定板位于所述光源安裝板與所述相機固定板之間，且所述中間固定板上設有第二豎直導向軸，所述相機固定板設有用于與所述第二豎直導向軸滑動配合的導向軸支座，所述中間固定板上設有位于所述透光孔上方的透光通孔。