[實用新型]用于深紫外線的反射膜、反射件和LED裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820619902.7 | 申請日： | 2018-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN208207260U | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發(fā)明（設計）人： | 林志龍;魏嵐;林夢潺 | 申請（專利權(quán)）人： | 廈門信達光電物聯(lián)科技研究院有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/08 | 分類號： | G02B5/08;H01L33/46 |
| 代理公司： | 廈門市首創(chuàng)君合專利事務所有限公司 35204 | 代理人： | 連耀忠;葉碎銀 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氧化膜 反射膜 深紫外線 本實用新型 氧化鉿膜 多層膜 反射件 材料成本 反射性能 交替分布 介質(zhì)材料 膜系結(jié)構(gòu) 氧化硅膜 氧化鋁膜 貴金屬 反射性 氧化硅 粘附性 氧化鋁 配合 保證 | ||
1.一種用于深紫外線的反射膜，包括多層膜，其特征在于：所述多層膜包括若干層第一氧化膜和若干層第二氧化膜，第一氧化膜和第二氧化膜交替分布，且第一氧化膜為氧化鉿膜或氧化鋁膜，第二氧化膜為氧化硅膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于深紫外線的反射膜，其特征在于：各奇數(shù)層的膜均為第一氧化膜，各偶數(shù)層的膜均為第二氧化膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于深紫外線的反射膜，其特征在于：所述第一氧化膜為氧化鉿膜，各層氧化鉿膜的厚度分別為30～35nm，或者，所述第一氧化膜為氧化鋁膜，各層氧化鋁膜的厚度分別為35～45nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于深紫外線的反射膜，其特征在于：位于最外層的膜為氧化硅膜，其厚度大于其余各層氧化硅膜的厚度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于深紫外線的反射膜，其特征在于：位于最外層的氧化硅膜的厚度為90～95nm，其余各層氧化硅膜的厚度分別為40～50nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于深紫外線的反射膜，其特征在于：所述第一氧化膜為氧化鉿膜，氧化鉿膜和氧化硅膜的層數(shù)分別大于或等于10層，所述反射膜的總厚度為840～850nm；或者，所述第一氧化膜為氧化鋁膜，氧化鋁膜和氧化硅膜的層數(shù)分別大于或等于20層，所述反射膜的總厚度為1775～1785nm。
7.一種反射件，包括基體，其特征在于：該基體表面設置有如權(quán)利要求1-6中任一項所述的用于深紫外線的反射膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的反射件，其特征在于：所述基體呈杯狀，其內(nèi)表面蒸鍍有所述反射膜，和/或，所述基體為銅或氮化鋁材質(zhì)。
9.一種LED裝置，為UVC-LED產(chǎn)品，其特征在于：包括如權(quán)利要求7或8所述的反射件，通過該反射件的反射膜對LED的光線進行反射。
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