[實用新型]一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置

有效

• 申請號: 201820618311.8
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN208043543U
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 李繼軍;劉飛;張偉光;侯小虎;楊詩婷
• 申請（專利權）人: 內蒙古工業大學
• 主分類號: G01N3/06
• 分類號: G01N3/06;G01N3/08
• 代理公司: 合肥市澤信專利代理事務所(普通合伙) 34144
• 代理人: 方榮肖

1.一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，其包括：

底部支撐塊(1)；

驅動電機(2)，其固定安裝在底部支撐塊(1)一端；

雙向絲桿(3)，其一端與驅動電機(2)傳動連接，且雙向絲桿(3)上設有兩個對向運動的絲桿螺母(4)；

兩個機械爪，其分別相對固定安裝在兩個絲桿螺母(4)上，每個機械爪包括：固定在絲桿螺母(4)上的箱體(5)、一端固定安裝在箱體(5)內部一側面的伺服電機(6)、一端與伺服電機(6)軸聯接的直線滑軌(7)、穿過箱體(5)且與直線滑軌(7)上的滑動塊(14)連接的第一手臂(8)，與第一手臂(8)固定連接的主動輪(9)、與主動輪(9)齒輪嚙合的從動輪(10)、與從動輪(10)固定連接的第二手臂(11)。

2.如權利要求1所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，在兩個驅動電機(2)之間水平安裝一光柵尺。

3.如權利要求2所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，光柵尺包括安裝在底部支撐塊(1)上的標尺光柵(12)和分別安裝在兩個箱體(5)上的兩個光柵讀數頭(13)；標尺光柵(12)和兩個光柵讀數頭(13)位于所述掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置的同一側。

4.如權利要求1所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，第一手臂(8)和第二手臂(11)呈對稱弧形，向內彎曲。

5.如權利要求4所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，第一手臂(8)遠離主動輪(9)的一端為尖端(15)，尖端(15)上設有與樣品槽相配合的凸起結構(16)。

6.如權利要求4所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，第二手臂(11)遠離從動輪(10)的一端為尖端(15)，尖端(15)上設有與樣品槽相配合的凸起結構(16)。

7.如權利要求5或6所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，凸起結構(16)與相應手臂采用螺紋連接。

8.如權利要求5或6所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，尖端(15)活動范圍為-90°—+90°。

9.如權利要求1所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，雙向絲桿(3)通過聯軸器與驅動電機(2)傳動連接。

10.如權利要求1所述的一種掃描電鏡原位拉伸壓縮裝置，其特征在于，第一手臂(8)與直線滑軌(7)上的滑動塊(14)通過銷軸連接。