[實(shí)用新型]托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及反應(yīng)腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820609663.7
• 申請(qǐng)日: 2018-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN208308958U
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周志文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/54
• 分類號(hào): C23C16/54;C23C16/44;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)腔室內(nèi)的托盤旋轉(zhuǎn)，且所述托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)軸、傳動(dòng)組件和驅(qū)動(dòng)源，所述旋轉(zhuǎn)軸的上端與所述托盤連接，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端豎直向下經(jīng)由所述腔室底部的開口延伸至所述腔室的外部，并通過所述傳動(dòng)組件與所述驅(qū)動(dòng)源連接，其特征在于，所述傳動(dòng)組件包括密封罩、第一磁芯組與第二磁芯組，其中，

所述密封罩用于密封所述腔室底部的開口，且所述第一磁芯組位于所述密封罩中；

所述第一磁芯組與所述旋轉(zhuǎn)軸連接；

所述第二磁芯組位于所述密封罩的外部，且環(huán)繞在所述第一磁芯組的周圍；

所述驅(qū)動(dòng)源用于驅(qū)動(dòng)所述第二磁芯組旋轉(zhuǎn)，且所述第二磁芯組在旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的磁場(chǎng)與所述第一磁芯組產(chǎn)生的磁場(chǎng)相互作用，以帶動(dòng)所述第一磁芯組旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁芯組包括沿所述旋轉(zhuǎn)軸的周向均勻間隔設(shè)置的多個(gè)第一磁體，所述第二磁芯組包括沿所述旋轉(zhuǎn)軸的周向均勻間隔設(shè)置的多個(gè)第二磁體，所述第一磁體的數(shù)量與所述第二磁體的數(shù)量相同，且一一對(duì)應(yīng)地設(shè)置，并且每個(gè)所述第一磁體的磁極方向和與之相對(duì)應(yīng)的所述第二磁體的磁極方向相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁芯組包括第一磁體，所述第二磁芯組包括第二磁體，所述第一磁體與所述第二磁體均為環(huán)形磁體且數(shù)量均為一個(gè)，并且所述第一磁體的磁極方向和所述第二磁體的磁極方向相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁芯組還包括第一固定筒，所述第一磁體固定在所述第一固定筒的外周壁上；所述第二磁芯組還包括第二固定筒，所述第二磁體固定在所述第二固定筒的內(nèi)周壁上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)組件還包括連接件，所述連接件的一端與所述第一磁芯組固定連接，所述連接件的另一端與所述旋轉(zhuǎn)軸軸接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸的材料為石英，所述連接件的材料為聚四氟乙烯。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)組件還包括筒夾，所述筒夾與所述第一磁芯組固定連接，且套置在所述旋轉(zhuǎn)軸與所述連接件上，用以使所述旋轉(zhuǎn)軸與所述連接件同軸。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)組件還包括軸承筒，所述密封罩通過所述軸承筒密封所述腔室底部的開口，且所述軸承筒套設(shè)在所述筒夾上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述密封罩與所述軸承筒通過密封圈密封連接。

10.一種反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室包括腔室以及設(shè)置在所述腔室內(nèi)的托盤，所述反應(yīng)腔室還包括與所述托盤相連的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)為權(quán)利要求1-9中任一所述的托盤旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。