[實用新型]反應腔室用觀察窗組件及反應腔室

有效

• 申請號: 201820606342.1
• 申請日: 2018-04-26
• 公開（公告）號: CN208478291U
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 劉建
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種反應腔室用觀察窗組件，包括套筒，其特征在于，所述套筒的一端的內壁通過固定件可拆卸地安裝有觀察窗，所述固定件的中心透光；

所述觀察窗包括圓形部和設于所述圓形部外周的一對定位凸起，所述一對定位凸起沿所述圓形部的徑向向外凸出，且沿所述圓形部的徑向相對設置，所述一對定位凸起之間形成第一定位結構；

所述套筒的所述一端的端面設有固定件安裝槽，所述固定件安裝槽包括圓形安裝部和設于所述圓形安裝部外周的一對限位安裝部，所述一對限位安裝部沿所述圓形安裝部的徑向向外延伸，且沿所述圓形安裝部的徑向相對設置；

所述固定件包括環形部和設于所述環形部的外周的第二定位結構，所述第二定位結構包括一對限位凸起，所述一對限位凸起沿所述環形部的徑向相對設置，且沿所述環形部的軸向延伸，以插入所述第一定位結構內。

2.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述圓形部的直徑小于所述圓形安裝部的直徑。

3.根據權利要求2所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述套筒的所述一端的內壁設有觀察窗安裝槽，所述觀察窗安裝槽設于所述固定件安裝槽的軸向內側，所述觀察窗設于所述觀察窗安裝槽內，且所述觀察窗能在所述觀察窗安裝槽內圍繞所述套筒的軸線轉動。

4.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述套筒的另一端設有次觀察窗，所述次觀察窗與所述套筒為一體結構，且所述次觀察窗用于與反應腔室的壁密封接觸。

5.一種反應腔室，其特征在于，包括根據權利要求1-4中任一項所述的反應腔室用觀察窗組件。

6.根據權利要求5所述的反應腔室，其特征在于，所述套筒的所述一端朝向所述反應腔室的內部，所述套筒的所述另一端朝向所述反應腔室的外部。