[實用新型]反應腔室用觀察窗組件及反應腔室有效
| 申請號： | 201820606095.5 | 申請日： | 2018-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN208476758U | 公開（公告）日： | 2019-02-05 |
| 發明（設計）人： | 李一成;茅興飛 | 申請（專利權）人： | 北京北方華創微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/01 | 分類號： | G01N21/01;G01N21/15;G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京思創畢升專利事務所 11218 | 代理人： | 孫向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 套筒 反應腔室 主觀察窗 觀察窗組件 安裝表面 觀察窗 第二空間 等離子體轟擊 第一空間 觀察表面 相對設置 軸向垂直 密封性 分隔 軸向 拆卸 密封 取出 隔離 | ||
1.一種反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，包括：
主觀察窗，包括相對設置的安裝表面和觀察表面；
套筒，所述套筒設于所述安裝表面，且所述套筒的軸向垂直于所述安裝表面；和
次觀察窗，所述次觀察窗設于所述套筒的內部空間中，沿著所述套筒的軸向將所述套筒的內部空間分隔為相互隔離的第一空間和第二空間；所述第二空間靠近所述安裝表面。
2.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述第一空間的內壁設有環形凹槽。
3.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，在所述套筒的內壁上設有環形臺階，所述環形臺階朝向所述主觀察窗的表面形成環形定位面，所述次觀察窗固定于所述環形定位面上。
4.根據權利要求3所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，在所述次觀察窗的朝向所述安裝表面的一側設有次觀察窗定位件。
5.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述套筒的外壁上設有密封槽，所述密封槽內設有套筒軸向密封件。
6.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述套筒與所述安裝表面之間設有緩沖件。
7.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述套筒具有相對的第一端和第二端，所述第一端朝向所述主觀察窗，且所述第一端的外壁上設有切口；
所述套筒的側壁上設有排氣孔，所述排氣孔分別與所述第一空間和所述切口連通。
8.根據權利要求1所述的反應腔室用觀察窗組件，其特征在于，所述套筒具有相對的第一端和第二端，所述第一端朝向所述主觀察窗，且所述第一端的外徑小于所述第二端的外徑；
所述套筒的側壁上設有排氣孔，所述排氣孔分別與所述第一空間和所述第一端的外壁連通。
9.一種反應腔室，其特征在于，包括根據權利要求1-8中任一項所述的反應腔室用觀察窗組件。
10.根據權利要求9所述的反應腔室，其特征在于，所述反應腔室用觀察窗組件安裝在所述反應腔室的腔體壁上，所述主觀察窗朝向所述反應腔室的外部，所述套筒朝向所述反應腔室的內部。
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