[實用新型]光刻曝光設備

有效

• 申請號: 201820599133.9
• 申請日: 2018-04-25
• 公開（公告）號: CN208297924U
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海市錦天城律師事務所 31273
• 代理人: 何金花

1.一種光刻曝光設備，包括依次設置的用于暫儲晶圓的等待區、用于搬移晶圓的機械手臂與用于曝光晶圓的曝光區，其特征在于，在所述等待區和所述曝光區之間設置有供所述機械手臂通行的過渡區風淋室，所述過渡區風淋室上方設置有風管組，所述風管組包括進風口、出風口一與出風口二；所述出風口一通過第一支管與所述等待區相連通，所述出風口二通過第二支管與所述過渡區風淋室相連通；所述進風口通入用于維持所述等待區與所述過渡區風淋室溫度的熱風，以使晶圓由所述等待區加載至所述曝光區的過程中保持恒溫。

2.根據權利要求1所述光刻曝光設備，其特征在于，所述風管組提供清潔干燥空氣形成的熱風至所述過渡區風淋室。

3.根據權利要求1所述光刻曝光設備，其特征在于，所述過渡區風淋室的框架材質為不銹鋼，所述過渡區風淋室框架材質的密度與所述機械手臂材質的密度一致。

4.根據權利要求1所述光刻曝光設備，其特征在于，所述過渡區風淋室與所述等待區的溫度一致。

5.根據權利要求4所述光刻曝光設備，其特征在于，所述等待區與所述第一支管連接處設有空氣過濾網一，所述風管組傳送的清潔干燥空氣經過所述空氣過濾網一進入所述等待區；所述過渡區風淋室與所述第二支管連接處設有空氣過濾網二，所述風管組傳送的清潔干燥空氣經過所述空氣過濾網二進入所述過渡區風淋室；所述空氣過濾網一和所述空氣過濾網二均采用無塵材質。

6.根據權利要求1所述光刻曝光設備，其特征在于，所述過渡區風淋室包含頂部、長邊和短邊，所述頂部的厚度A介于18～22mm，所述長邊的內邊長4a1介于580～620mm，所述長邊外邊長介于620～660mm，所述長邊的厚度B介于18～22mm，所述短邊的內邊長4b介于480～520mm，所述短邊的外邊長介于520～560mm，所述長邊和頂部交接處的對角線與頂部水平線形成的夾角C介于43～47度。