[實(shí)用新型]雙面鍍膜設(shè)備及其載板檢測單元

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820596683.5
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN208472186U
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊斌
• 申請（專利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新(北京)科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李海建

1.一種載板檢測單元，其特征在于，包括：

用于設(shè)置在工藝腔(6)之前的工作腔；

設(shè)置于所述工作腔內(nèi)，用于檢測載板(1)內(nèi)是否有碎片的檢測裝置。

2.如權(quán)利要求1所述的載板檢測單元，其特征在于，所述檢測裝置為回歸反射型檢測裝置，其包括用于設(shè)置在所述載板(1)一側(cè)的傳感器(42)及用于設(shè)置在所述載板(1)另一側(cè)的反射器(41)。

3.如權(quán)利要求2所述的載板檢測單元，其特征在于，所述傳感器(42)設(shè)置于所述工作腔的底部，所述反射器(41)設(shè)置于所述工作腔的頂部。

4.如權(quán)利要求1所述的載板檢測單元，其特征在于，所述檢測裝置為對射型檢測裝置，其包括用于設(shè)置在所述載板(1)一側(cè)的發(fā)射器及用于設(shè)置在所述載板(1)另一側(cè)接收器。

5.如權(quán)利要求4所述的載板檢測單元，其特征在于，所述發(fā)射器設(shè)置于所述工作腔的底部，所述接收器設(shè)置于所述工作腔的頂部。

6.如權(quán)利要求1所述的載板檢測單元，其特征在于，所述工作腔內(nèi)具有帶動(dòng)所述載板(1)移動(dòng)的傳動(dòng)輪(2)；

所述檢測裝置固定設(shè)置于所述工作腔內(nèi)。

7.如權(quán)利要求6所述的載板檢測單元，其特征在于，所述檢測裝置設(shè)置于所述工作腔的前側(cè)；

所述工作腔的前側(cè)為所述載板(1)進(jìn)入所述工作腔的一側(cè)。

8.如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的載板檢測單元，其特征在于，所述檢測裝置的數(shù)量為多個(gè)且與所述載板(1)的電池片列數(shù)相同；

沿所述載板(1)的傳輸方向排列的所述電池片為一列。

9.一種雙面鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的載板檢測單元。

10.如權(quán)利要求9所述的雙面鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述工作腔為前置隔離腔(4)或前置緩沖腔(5)。