[實用新型]掩膜板

有效

• 申請號: 201820594064.2
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN208604190U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 王夢凡;王國兵;康夢華;葉訢;蘇倩;李金庫
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本實用新型涉及一種掩膜板，包括掩膜板主體，掩膜板主體具有第一中心線與第二中心線，第一中心線與第二中心線垂直；開設于掩膜板主體上的兩組蒸鍍區，每組蒸鍍區包括至少一個蒸鍍區，每個蒸鍍區開設有凹陷部，每相鄰兩個蒸鍍區之間具有間距，兩組蒸鍍區關于第一中心線軸對稱，且兩組蒸鍍區關于第二中心線軸對稱。兩組蒸鍍區關于第一中心線與第二中心線均軸對稱設置，則位于第一中心線與第二中心線兩側的凹陷部數量相同，則此時掩膜板主體在張網時第一中心線與第二中心線兩側受力均勻，降低了與凹陷部配合的遮擋部位置的褶皺，張網精度提高，從而也使得后續顯示屏像素蒸鍍位置精度較高，且也提高了后續顯示屏的開口區(即異形區)的顯示效果。

技術領域

本實用新型涉及顯示技術領域，特別是涉及一種掩膜板。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又稱為有機電激光顯示或有機發光半導體。OLED具有驅動電壓低、主動發光、視角寬、效率高、響應速度快、易實現全彩色大面積壁掛式顯示和柔性顯示的許多特點而逐漸取代液晶顯示器(Liquid CrystalDisplay，LCD)顯示。

在OLED制造技術中，真空蒸鍍用的掩膜板是至關重要的部件，掩膜板可以控制有機材料沉積在基板上的位置。掩膜板主要包括通用金屬掩膜板(Common Metal Mask，CMM)及精密金屬掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)，CMM用于蒸鍍共通層，FMM用于蒸鍍發光層。

發明人發現，采用現有技術中的掩膜板張網時出現褶皺，導致后續顯示屏像素蒸鍍位置精度降低。

實用新型內容

基于此，本實用新型提供了一種掩膜板，解決了掩膜板張網時出現褶皺的問題，提高了后續顯示屏像素蒸鍍位置的精度。

為實現以上目的，本實用新型提供了一種掩膜板。

所述掩膜板包括：

掩膜板主體，所述掩膜板主體具有第一中心線與第二中心線，所述第一中心線與所述第二中心線垂直；

開設于所述掩膜板主體上的兩組蒸鍍區，每組所述蒸鍍區包括至少一個所述蒸鍍區，每個所述蒸鍍區開設有凹陷部，每相鄰兩個所述蒸鍍區之間具有間距，兩組所述蒸鍍區關于所述第一中心線軸對稱，且兩組所述蒸鍍區關于所述第二中心線軸對稱。

如此，兩組蒸鍍區關于第一中心線與第二中心線均軸對稱設置，則位于第一中心線與第二中心線兩側的凹陷部數量相同，并且，朝向不同方向的凹陷部的數量及排布方式也相互對應互補，則此時掩膜板主體在張網時第一中心線與第二中心線兩側受力均勻，降低了與凹陷部配合的遮擋部位置的褶皺，張網精度提高，從而也使得后續顯示屏像素蒸鍍位置精度較高，且也提高了后續顯示屏的開口區(即異形區)的顯示效果。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍區沿第一方向具有相對的第一端與第二端，所述第一端開設有所述凹陷部，或所述第二端開設有所述凹陷部，所述第一方向與所述第一中心線平行。

在其中一個實施例中，所述掩膜板主體上沿第二方向開設有一排所述蒸鍍區，所述第二方向與所述第二中心線平行。

在其中一個實施例中，所述掩膜板主體上沿所述第二方向開設有至少兩排所述蒸鍍區，且所述蒸鍍區沿所述第一方向的數量為偶數個，所述第二方向與所述第二中心線平行。

在其中一個實施例中，位于所述第二中心線同側的所述蒸鍍區的所述凹陷部均背向或均面向所述第二中心線凹陷。

在其中一個實施例中，每組所述蒸鍍區劃分為至少一個子組，每相鄰兩個所述蒸鍍區為一個所述子組，位于所述第二中心線同側的每個所述子組里的所述蒸鍍區的所述凹陷部相對。