[實(shí)用新型]碎片自動(dòng)清掃裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820593848.3
• 申請(qǐng)日: 2018-04-23
• 公開（公告）號(hào): CN208495282U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚良;張鶴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇微導(dǎo)納米裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B9/087
• 分類號(hào): B08B9/087
• 代理公司: 南京知識(shí)律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 朱少華

本實(shí)用新型公開了一種碎片自動(dòng)清掃裝置，述裝置包括氣缸(1)、推拉桿(2)、清掃刮板(3)、過渡支架(4)和旋轉(zhuǎn)支架(5)；所述推拉桿(2)通過過渡支架(4)可活動(dòng)地連接在槳桿(7)上；所述氣缸(1)的伸縮桿連接推拉桿(2)的一端，推拉桿(2)另一端連接清掃刮板(3)的上部；所述旋轉(zhuǎn)支架(5)固定在槳桿(7)上，旋轉(zhuǎn)支架(5)上設(shè)有旋轉(zhuǎn)中心(6)，清掃刮板(3)的頂端連接在旋轉(zhuǎn)中心(6)上并可繞旋轉(zhuǎn)中心(6)旋轉(zhuǎn)；本技術(shù)方案的碎片清掃裝置只需要隨槳桿進(jìn)出爐體，就可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備自動(dòng)清理碎片，操作者只需定期清理碎片收集盒就可以，節(jié)省了很多維護(hù)時(shí)間，能夠有效的提高設(shè)備產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及到清掃裝置，具體涉及到鍍膜設(shè)備中的碎片自動(dòng)清掃裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的管式PECVD系統(tǒng)中，在爐管內(nèi)的碎硅片，需要定期人工清理，需要操作者拿特定的耙子，手動(dòng)把碎片扒出來。上述操作方式存在以下缺點(diǎn)：影響設(shè)備產(chǎn)能；登高作業(yè)存在安全隱患。

專利號(hào)為201220415034.3，名稱為板式PECVD硅片碎片清理裝置，公開了一種硅片碎片的清理裝置，該裝置包括手柄(1)和清潔部(2)，所述清潔部(2)與手柄(1)固定連接，所述清潔部(2)包括左分叉(21)和右分叉(22)，左分叉和右分叉之間分別穿設(shè)有主動(dòng)軸(3)和從動(dòng)軸(4)，所述主動(dòng)軸(3)一端設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)主動(dòng)軸(3)轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)(31)，所述從動(dòng)軸(4)上繞設(shè)有膠面向外的膠帶卷(5)，所述膠帶卷(5)的自由端(51)與主動(dòng)軸(3)固定，所述手柄(1)上設(shè)有用于控制電機(jī)(31)轉(zhuǎn)動(dòng)的開關(guān)(7)。該專利其采用滾動(dòng)的膠帶粘附硅片碎片，最后將用膠帶包覆住的硅片碎片從爐體內(nèi)取出。

該方式存在以下問題，其仍需要人工操作，操作者手握手柄，通過控制手柄上的控制電機(jī)控制清潔部的動(dòng)作；并且進(jìn)行該項(xiàng)清理工作的時(shí)候，還需要設(shè)備停止運(yùn)行，影響設(shè)備產(chǎn)能。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型提供了一種在線式碎片自動(dòng)清掃裝置，清掃過程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

槳桿7為管式PECVD的自動(dòng)上下料系統(tǒng)中的一部分，槳桿7是將待鍍膜的襯底放入設(shè)備的爐體中，或者將鍍膜后的襯底從爐體中取出，利用槳桿7在爐體中循環(huán)往復(fù)的動(dòng)作，本技術(shù)方案想到在槳桿7附加一個(gè)清掃刮板3，在槳桿7退出爐體時(shí)，順便將碎片在爐體中掃出，這樣既避免了人工清掃碎片，又不用停止設(shè)備專門清掃碎片，提高了產(chǎn)能。

碎片自動(dòng)清掃裝置，包括氣缸1、推拉桿2、清掃刮板3、過渡支架4和旋轉(zhuǎn)支架5；所述氣缸1的伸縮桿連接推拉桿2的一端，推拉桿2另一端連接清掃刮板3的上部；所述推拉桿2通過過渡支架4可活動(dòng)地連接在槳桿7上，推拉桿2可以相對(duì)槳桿7運(yùn)動(dòng)；所述旋轉(zhuǎn)支架5固定在槳桿7上，旋轉(zhuǎn)支架5上設(shè)有旋轉(zhuǎn)中心6，清掃刮板3的頂端連接在旋轉(zhuǎn)中心6上并可繞旋轉(zhuǎn)中心6旋轉(zhuǎn)。

所述推拉桿2與清掃刮板3通過可活動(dòng)關(guān)節(jié)連接。

所述過渡支架4固定在槳桿7的底部，過渡支架4設(shè)有若干個(gè)；推拉桿2放置在過渡支架4內(nèi)，推拉桿2可以沿過渡支架4前后運(yùn)動(dòng)。

當(dāng)槳桿7進(jìn)入爐體時(shí)，氣缸1的伸縮桿伸出，推動(dòng)推拉桿2，清掃刮板3繞著旋轉(zhuǎn)中心6順時(shí)針旋轉(zhuǎn)一定角度，此時(shí)清掃刮板3與爐體底部不接觸。

當(dāng)槳桿7退出爐體時(shí)，氣缸1的伸縮桿回縮，拉動(dòng)推拉桿2，清掃刮板3繞著旋轉(zhuǎn)中心6逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)一定角度，此時(shí)清掃刮板3與爐體底部接觸。

槳桿7退出爐體時(shí)，清掃刮板3保持與爐體底部接觸的狀態(tài)，清掃刮板3和推拉桿2隨槳桿7一同運(yùn)動(dòng)，清掃刮板3將爐體底部的碎片刮出去，把碎片刮到爐口的收集盒內(nèi)。

采用本技術(shù)方案的有益效果：

(1)碎片清掃裝置只需要隨槳桿進(jìn)出爐體，就可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備自動(dòng)清理碎片，操作者只需定期清理碎片收集盒就可以，節(jié)省了很多維護(hù)時(shí)間，能夠有效的提高設(shè)備產(chǎn)能。