[實用新型]一種沉淀室的隔離設備

有效

• 申請號: 201820592445.7
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN208014647U
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: 趙永飛
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 李蒙蒙;龍洪

本申請公開了一種沉淀室的隔離設備，用以分隔沉積室的內腔和外腔，所述隔離設備包括用以封閉所述內腔的隔板機構，所述隔板機構包括相連接的主門板和彈性裝置，所述主門板封蓋所述內腔的敞口，所述彈性裝置用以向內腔方向擠壓所述主門板而使其緊貼密封所述內腔。本申請涉及太陽能電池的制造設備，提供了一種沉淀室的隔離設備，其采用帶有彈性裝置的隔板機構將內腔和外腔密封隔離開，從而避免因密封圈失效而帶來的不能完全隔離的問題，同時也可減少零件的損耗和頻繁更換零件的麻煩。

技術領域

本文涉及太陽能電池的制造設備，尤指一種沉淀室的隔離設備。

背景技術

等離子增強化學氣相沉積設備(PECVD設備)是制造HIT高效異質結電池的核心設備。而該設備中的PECVD沉積室是對硅片沉積P/I/N結的腔室。

目前，PECVD沉積室采取外腔和內腔的結構設計，在進行化學氣相沉積時，需將外腔和內腔隔離開，現有的PECVD沉積室采用30mm厚的鋁板制成的門板進行隔離，門板在垂直方向上進行移動，并利用門板上的O型密封圈來達到內外腔密封隔離的目的。

但是，在內腔高溫時，密封圈易老化而失去彈性，使門板與內腔之間存在縫隙，并不能完全將內腔和外腔分隔開來。另外，由于該門板在垂直方向上上下移動來封閉或開啟內腔，密封圈會頻繁摩擦，損壞較快，需頻繁的更換密封圈，給設備使用帶來不便。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種沉淀室的隔離設備，其采用帶有彈性裝置的隔板機構將內腔和外腔密封隔離開，從而避免因密封圈失效而帶來的不能完全隔離的問題，同時也可減少零件的損耗和頻繁更換零件的麻煩。

為了達到發明目的，本實用新型提供了一種沉淀室的隔離設備，用以分隔沉積室的內腔和外腔，所述隔離設備包括用以封閉所述內腔的隔板機構，所述隔板機構包括相連接的主門板和彈性裝置，所述主門板封蓋所述內腔的敞口，所述彈性裝置用以向內腔方向擠壓所述主門板而使其緊貼密封所述內腔。

一種可能的設計，所述沉積室設置有可旋轉的門軸，所述隔板機構固定在所述門軸上，所述隔離設備還包括驅動裝置，所述驅動裝置與門軸連接，用以驅動所述門軸旋轉而帶動所述隔板機構轉動。

一種可能的設計，所述隔板機構還包括基板，所述彈性裝置夾在所述主門板與基板之間，所述基板與門軸固定。

一種可能的設計，所述驅動裝置為氣缸，所述氣缸固定在沉降室外壁側，所述氣缸通過連桿機構與所述門軸連接，所述連桿機構包括驅動桿和驅動連桿，所述驅動桿一端與氣缸的輸出端固定，另一端與所述驅動連桿鉸接，所述驅動連桿與所述門軸固定。

一種可能的設計，所述隔板機構通過固定在所述基板上的連接座與所述門軸連接。

一種可能的設計，所述門軸通過設置在其兩端的軸承座安裝在所述沉積室壁上。

一種可能的設計，所述氣缸通過鉸接座與沉積室的外壁側固定，所述氣缸與鉸接座鉸接。

一種可能的設計，所述彈性裝置包括多個彈片，所述彈片的一端與所述主門板相抵，用以抵頂所述主門板。

一種可能的設計，所述沉積室上固定有門軸，所述隔板機構旋轉安裝在所述門軸上，所述隔離設備還包括驅動裝置，所述驅動裝置與隔板機構連接，用以驅動所述隔板機構轉動封閉或開啟所述內腔。

與現有技術相比，本實用新型采用帶有彈性裝置的隔板機構將內腔和外腔密封隔離開，能夠更好的吸收安裝誤差和沉積高溫帶來的形變，從而避免因密封圈失效而帶來的不能完全隔離的問題，同時也可減少零件的損耗和頻繁更換零件的麻煩。

進一步地，本實用新型的驅動裝置用以轉動隔板機構而使其封閉或開啟內腔，改變原有豎直移動的切換方式，避免了頻繁摩擦而對零部件造成的損壞。