[實用新型]一種原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820591193.6
• 申請日: 2018-04-24
• 公開（公告）號: CN208476958U
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設計）人: 韓雄;都有為;錢鋒;王矛宏;王辰成
• 申請（專利權）人: 蘇州飛時曼精密儀器有限公司
• 主分類號: G01Q30/02
• 分類號: G01Q30/02
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 韓飛

1.一種原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，包括：

光學物鏡組件(1)；以及

設于光學物鏡組件(1)正下方的激光檢測頭(2)，該激光檢測頭(2)包括：內部中空的殼體(21)；及設于殼體(21)內部的激光器組件(22)、探針架組件(23)、及位置探測器組件(24)，

其中，光學物鏡組件(1)包括物鏡轉盤(11)以及布置于物鏡轉盤(11)周向上的多個不同放大倍數(shù)的物鏡，所述物鏡的放大倍數(shù)為4～100倍。

2.如權利要求1所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，所述物鏡設有五個，分別為第一物鏡(12)、第二物鏡(13)、第三物鏡(14)、第四物鏡及第五物鏡，其中，第一物鏡(12)、第二物鏡(13)、第三物鏡(14)、第四物鏡及第五物鏡的放大倍數(shù)分別為4倍、10倍、20倍、50倍、及100倍。

3.如權利要求1所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，殼體(21)包括設于殼體(21)左部的第一腔體(211)、設于殼體(21)中間的第二腔體(212)及設于殼體右部的第三腔體(213)，殼體(21)的最上部設有蓋板(29)。

4.如權利要求1所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，激光器組件(22)設于第一腔體(211)內，激光器組件(22)包括：

激光器(221)

內部中空的激光器X滑塊(222)；以及

內部中空的激光器Y滑塊(223)；

其中，激光器(221)從激光器X滑塊(222)和激光器Y滑塊(223)正中間穿過，并固定于激光器X滑塊上(222)，

激光器X滑塊(222)和激光器Y滑塊(223)的調節(jié)螺桿穿過第一腔體(211)，并通過所述調節(jié)螺桿與所述第一腔體(211)相連。

5.如權利要求1所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，探針架組件(23)設于第二腔體(212)內，探針架組件(23)兩側有45°的燕尾槽，其通過所述燕尾槽與第二腔體(212)相連。

6.如權利要求5所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，探針架組件(23)包括：

探針定位塊(231)，其固定于探針架組件(23)上；

探針(232)，其固定于探針定位塊(231)的前端；

彈簧片(233)，其固定于探針架組件(23)上并利用彈簧的彈性將探針(232)夾住；及

半透半反鏡(234)，其設于探針架組件(23)正中并位于探針(232)的正上方，以與探針架組件(23)夾角為45°固定于探針架組件(23)上。

7.如權利要求1所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，位置探測器組件(24)設于第三腔體(213)內，位置探測器組件(24)包括：

位置探測器(241)

內部中空的位置探測器X滑塊(242)；以及

內部中空的位置探測器Y滑塊(243)；

其中，位置探測器(241)從位置探測器X滑塊(242)和位置探測器Y滑塊(243)正中間穿過，并固定于位置探測器X滑塊上(242)，

位置探測器X滑塊(242)和位置探測器Y滑塊(243)的調節(jié)螺桿穿過第三腔體(213)，并通過所述調節(jié)螺桿與第三腔體(213)相連。

8.如權利要求3所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，第一腔體(211)內部設有一個與蓋板(29)夾角為45°梁結構，所述梁結構上固定有左反光鏡(25)。

9.如權利要求3所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，第三腔體(213)設有一個與蓋板(29)夾角為45°梁結構，所述梁結構上固定有右反光鏡(26)。

10.如權利要求3所述的原子力顯微鏡超短距離激光檢測裝置，其特征在于，第二腔體(212)內部設有一圓孔，角度調節(jié)桿(27)通過所述圓孔與第二腔體(212)相連，角度調節(jié)桿(27)的末端固定有一反光鏡(28)。