[實用新型]玻璃管真空封裝接頭

有效

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• 申請日: 2018-04-20
• 公開（公告）號: CN208219007U
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發(fā)明（設計）人: 阮秀清
• 申請（專利權）人: 泉州市依科達半導體致冷科技有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10
• 代理公司: 福州市鼓樓區(qū)鼎興專利代理事務所(普通合伙) 35217
• 代理人: 程捷;楊慧娟

本實用新型公開了一種玻璃管真空封裝接頭，其包括外殼、上蓋、下蓋以及轉軸，所述轉軸下端部裝在玻璃管的開口端上，所述玻璃管的開口端端面與轉軸的下端部之間安裝有緩沖墊圈，一螺套穿過玻璃管與轉軸的下端部螺紋連接，所述螺套與玻璃管之間套裝有第一密封圈；所述轉軸的下端裝有一齒輪，所述齒輪與齒輪驅動裝置連接；所述外殼通過軸承套裝于轉軸外，外殼與轉軸之間還套裝有第二密封圈，所述第二密封圈兩端安裝有壓環(huán)，所述第二密封圈、壓環(huán)以及軸承均與轉軸動配合，所述上蓋與所述外殼的上端部螺栓連接；所述上壓蓋上固定安裝有真空管接頭，所述真空管接頭一端與轉軸連通，真空管接頭另一端與抽真空裝置管道連接；所述下蓋與外殼的下端部螺栓連接。

技術領域

本實用新型涉及玻璃管封裝設備領域，尤其涉及一種玻璃管真空封裝接頭。

背景技術

在半導體器件制造行業(yè)中，N型晶棒、P型晶棒的質量對產品的質量具有決定性的影響。現有半導體晶棒的加工是把所需的高純度金屬、非金屬材料破碎后，按配方規(guī)定的重量裝入石英玻璃管中并熱熔收口成葫蘆狀后，插入真空管進行抽真空，當真空度達到要求時用火焰槍將葫蘆狀的腰部燒化，使其密封，密封后再經熔煉、拉晶和必要的熱處理最終形成具有半導體屬性的晶棒。其中，抽真空過程存在的問題是：抽真空過程中玻璃管的葫蘆狀靠人工旋轉拉伸形成，由于葫蘆狀的腰部較細，插入真空管時若用力過大，腰部容易折斷，操作難度大；用力太小，因玻璃管和真空管之間僅靠一套裝在玻璃管和真空管之間的橡膠管作為密封元件，橡膠管與玻璃管之間貼合力太小，密封性能差，難以達到真空度要求。

發(fā)明內容

本實用新型的目的在于提供一種密封效果更好的玻璃管真空封裝接頭。

實現本實用新型目的的技術方案是：一種玻璃管真空封裝接頭，其包括外殼、上蓋、下蓋以及轉軸，所述轉軸下端部裝在玻璃管的開口端上，所述玻璃管的開口端端面與轉軸的下端部之間安裝有緩沖墊圈，一螺套穿過玻璃管與轉軸的下端部螺紋連接，所述螺套與玻璃管之間套裝有第一密封圈；所述轉軸的下端裝有一齒輪，所述齒輪與齒輪驅動裝置連接；所述外殼通過軸承套裝于轉軸外，外殼與轉軸之間還套裝有第二密封圈，所述第二密封圈兩端安裝有壓環(huán)，所述第二密封圈、壓環(huán)以及軸承均與轉軸動配合，所述上蓋與所述外殼的上端部螺栓連接；所述上壓蓋上固定安裝有真空管接頭，所述真空管接頭一端與轉軸連通，真空管接頭另一端與抽真空裝置管道連接；所述下蓋與外殼的下端部螺栓連接。

進一步地，所述外殼內固定套裝有第一壓套，所述第一壓套與轉軸之間留有間隙，所述轉軸的上端部表面開設有卡簧槽，所述卡簧槽下方的轉軸外套裝有第二壓套，所述卡簧槽上套裝有一彈簧卡圈，所述彈簧卡圈另一端固定安裝于所述第一壓套上，彈簧卡圈的底部與第二壓套接觸，以防止轉軸在外殼內轉動時所產生的軸向躥動。

本實用新型采用帶轉軸的真空密封接頭取代傳統的真空膠管，真空密封接頭能帶動玻璃管轉動，不但實現了抽真空作業(yè)的機械化，并且當使用過程中發(fā)現真空度未達到使用標準時，可通過旋緊上蓋、下蓋以及螺套，使各處的密封圈被進一步壓緊，從而實現密封性能的調節(jié)，保證抽真空作業(yè)的真空度，在同等條件下，本實用新型的真空度可達到3×10^-1Pa，遠高于真空膠管密封時3×10⁶Pa的極限真空度，抽真空作業(yè)穩(wěn)定性更高，其結構簡單易于組裝，操作方便，提高了玻璃管真空封裝的工作效率和可行性。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例所述玻璃管真空封裝接頭的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型較佳實施例做進一步描述。