[實用新型]一種增強透射的納米環形近場光學探針有效

申請號：	201820566435.6	申請日：	2018-04-20
公開（公告）號：	CN208140736U	公開（公告）日：	2018-11-23
發明（設計）人：	曾志豪;王海衛;謝長生;李紅云;黃濤;鄒宇豪;肖瑤	申請（專利權）人：	華中科技大學
主分類號：	G01Q60/22	分類號：	G01Q60/22;G02B6/26;G02B5/00
代理公司：	華中科技大學專利中心 42201	代理人：	李智;曹葆青
地址：	430074 湖北***	國省代碼：	湖北;42
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	探針環形結構中心增強透射孔透射本實用新型光纖纖芯近場光學納米尺度金屬膜掃描近場光學顯微鏡聚焦原子力顯微鏡高度方向性金屬膜材料拉曼光譜儀等離激元二氧化硅高方向性光學探針納米成像納米光刻激發光界面處近場光平滑端透射光亞波長針尖光通信傳感可用光源優化調控轉化應用
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種增強透射的納米環形近場光學探針，其特征在于，包括：光纖纖芯、納米環形結構、金屬膜及中心增強透射孔；

所述光纖纖芯的錐形針尖的頂端為所述光纖纖芯的端面，在所述光纖纖芯的端面上刻蝕有所述納米環形結構，在所述納米環形結構上鍍有所述金屬膜，所述金屬膜延續所述納米環形結構的環形拓撲結構，所述中心增強透射孔在所述納米環形結構的中心，且貫穿所述金屬膜，在所述納米環形結構的中心刻蝕有圓柱形凹陷。

2.根據權利要求1所述的光學探針，其特征在于，所述納米環形結構具有n層，其中，最內層環形結構的內圓半徑為R_{1_in}，外圓半徑為R_{1_out}，所形成的環形凹槽深度為h₁，往外第二層環形結構的內圓半徑為R_{2_in}，外圓半徑為R_{2_out}，所形成的環形凹槽深度為h₂，依次往外第n層內圓半徑為R_{n_in}，外圓半徑為R_{n_out}，所形成的環形凹槽深度為h_n，其中，n為正整數。

3.根據權利要求2所述的光學探針，其特征在于，在所述納米環形結構上鍍有m層金屬膜，且從貼近所述光纖纖芯的端面起各層金屬膜的層數分別為1，2，3，...，m，其中，m為正整數。

4.根據權利要求2所述的光學探針，其特征在于，所述光纖纖芯的端面直徑d_in為十微米級別，且d_in＞4×R_{n_out}。

5.根據權利要求3所述的光學探針，其特征在于，所述中心增強透射孔的半徑R₀滿足R₀＞2R_s，深度h₀滿足h₀＝t₁+t₂+...+t_m，其中，R_s為所述圓柱形凹陷的半徑，t₁,t₂,...,t_m為m層金屬膜各膜層對應的膜厚度。