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[實用新型]一種用于單晶硅生長的二次加料裝置有效

專利信息
申請號: 201820565897.6 申請日: 2018-04-19
公開(公告)號: CN208087781U 公開(公告)日: 2018-11-13
發明(設計)人: 田龍;汪奇;高彬彬;黎濤 申請(專利權)人: 新疆晶科能源有限公司
主分類號: C30B15/02 分類號: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 代理人: 王偉鋒;劉鐵生
地址: 835800 新疆維吾爾自*** 國省代碼: 新疆;65
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摘要:
搜索關鍵詞: 外筒 二次加料裝置 單晶硅生長 控制構件 驅動構件 內筒 本實用新型 嵌套 單晶硅生產 上下移動 石英材料 使用壽命 下端 驅動 封閉 支撐 開放
【權利要求書】:

1.一種用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,包括:外筒、內筒、控制構件和驅動構件;

所述內筒嵌套在所述外筒內;被所述外筒支撐;

所述內筒為石英材料;

所述控制構件設置在所述外筒的下端,能夠選擇地控制所述外筒的下端的開放或封閉;

所述控制構件與所述驅動構件連接,被所述驅動構件驅動上下移動。

2.根據權利要求1所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述控制構件的上端面較所述控制構件的下端面小;

所述上端面與所述下端面之間為弧面;

所述弧面的凸起部超向所述控制構件的內側。

3.根據權利要求2所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述控制構件為石英材料。

4.根據權利要求3所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述外筒的下部內側具有凸出部;所述凸出部位于所述內筒的下方,以防止所述內筒下落。

5.根據權利要求4所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述控制構件與所述驅動構件通過桿件連接;

所述驅動構件設置在所述外筒的上方;所述桿件的一端與所述驅動構件鉸接,另一端與所述控制構件固定連接;所述桿件沿所述內筒的軸向穿過所述內筒。

6.根據權利要求5所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述桿件上固定地設置有限位構件,用于限制所述桿件向下移動的距離。

7.根據權利要求6所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述內筒的上端具有沿所述內筒的徑向向外延伸的邊緣;

所述邊緣被所述外筒支撐,以形成對所述內筒的支撐。

8.根據權利要求7所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述邊緣與所述外筒之間設置有聚四氟乙烯墊圈。

9.根據權利要求8所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述控制構件的外徑較所述外筒的外徑大。

10.根據權利要求9所述的用于單晶硅生長的二次加料裝置,其特征在于,

所述外筒上固定地設置有連接構件,用于與石英坩堝連接。

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