[實用新型]一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820562210.3
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN208147615U
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設計）人: 葉維堅;張弢;蔣德念
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: B24B37/30
• 分類號: B24B37/30;B24B55/06
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型提供了一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，屬于研磨設備清洗的技術領域。一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構包括底部嵌設有研磨頭隔膜的研磨頭主體，設置于研磨頭主體頂部的研磨頭主軸，同時，在研磨頭主體和研磨頭主軸中內(nèi)置有輔助清洗裝置，在研磨頭主體的下方設置有研磨清洗裝置；本實用新型通過將輔助清洗裝置的內(nèi)置通道沿研磨頭主體的容納槽和研磨頭隔膜形成的間隙的輪廓線布置，實現(xiàn)對研磨頭隔膜和研磨頭主體之間間隙的徹底清洗，同時將輔助清洗裝置連接在供水裝置和供氣裝置上實現(xiàn)水氣切換，不僅提高了適應性，還使清洗更徹底，并且結合研磨清洗裝置能實現(xiàn)對研磨頭內(nèi)外部的徹底清洗，防止殘留的研磨衍生物對下次研磨造成劃傷，提高產(chǎn)品質量。

技術領域

本實用新型涉及研磨設備清洗的技術領域，具體是涉及一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構。

背景技術

在各行各業(yè)中，很多產(chǎn)品的生產(chǎn)制造都需要進行研磨工序操作。研磨工序的好壞決定了產(chǎn)品的品質，因此，提高研磨的效果是目前研究的重點。

傳統(tǒng)的，對于晶圓研磨的研磨設備包括研磨頭和處于研磨頭底部的研磨清洗裝置，研磨頭包括連接有研磨頭主軸的研磨頭主體，并于研磨頭主體內(nèi)設置有研磨頭隔膜，且研磨頭隔膜嵌設于研磨頭主體內(nèi)。在研磨頭主軸轉動時，帶動研磨頭隔膜旋轉，從而實現(xiàn)對處于研磨頭下方的晶圓的研磨，并且在一次研磨工序完成后，處于研磨頭底部的研磨清洗裝置會向研磨頭噴水，實現(xiàn)對研磨頭的清洗，避免研磨衍生物對下次研磨造成刮傷，提高研磨質量。但是，由于研磨頭隔膜是嵌設于研磨頭主體內(nèi)，因此，直接通過研磨清洗裝置噴水清洗的方式只能清洗研磨頭隔膜的下表面，無法對研磨頭隔膜和研磨頭主體的間隙中的研磨衍生物進行清洗，造成部分研磨衍生物清洗不徹底的問題，存在對下次研磨的晶圓造成劃傷的風險。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術中存在的上述問題，現(xiàn)旨在提供一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，以在研磨頭主體和研磨頭主軸中內(nèi)置輔助清洗裝置，且輔助清洗裝置的噴口均處于研磨頭隔膜和研磨頭主體的間隙處，保證了在清洗時，不僅能利用研磨清洗裝置實現(xiàn)對研磨頭隔膜的下表面的清洗，同時還能通過輔助清洗裝置對研磨頭隔膜和研磨頭主體之間的間隙進行清洗，徹底清除研磨衍生物，避免對下次研磨造成刮傷的風險，提高產(chǎn)品品質。

具體技術方案如下：

一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，具有這樣的特征，包括：研磨頭主體、研磨頭隔膜、研磨頭主軸、研磨清洗裝置以及輔助清洗裝置，研磨頭主體的底部開設有容納槽，容納槽內(nèi)嵌設有研磨頭隔膜，在研磨頭主體和研磨頭隔膜的下方設置有研磨清洗裝置，同時，在研磨頭主體的頂部設置有一研磨頭主軸，并在研磨頭主軸和研磨頭主體中設置有內(nèi)置的輔助清洗裝置，并且輔助清洗裝置在研磨頭主體內(nèi)沿容納槽和研磨頭隔膜形成的間隙的輪廓線布置。

上述的一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，其中，輔助清洗裝置為內(nèi)置通道，輔助清洗裝置在研磨頭主軸中為沿研磨頭主軸的軸向布置的第一內(nèi)置通道，輔助清洗裝置在研磨頭主體中為第二內(nèi)置通道。

上述的一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，其中，第二內(nèi)置通道分為清洗通道和連接通道，清洗通道為首尾相接的閉式弧形結構，連接通道一端與清洗通道連通，連接通道的另一端連接研磨頭主軸中的第一內(nèi)置通道。

上述的一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，其中，清洗通道的弧形方向沿容納槽和研磨頭隔膜形成的間隙的輪廓線布置，同時，在清洗通道上開設有若干噴口，噴口均與清洗通道連通。

上述的一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，其中，輔助清洗裝置連接有供水裝置和供氣裝置。

上述的一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，其中，供水裝置和供氣裝置通過控制閥門均連接在研磨頭主軸中的內(nèi)置通道上。

上述的一種內(nèi)部可清洗的研磨頭結構，其中，研磨清洗裝置的噴射范圍覆蓋整個研磨頭主體的底部端面。