[實(shí)用新型]過濾器的純化系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820558237.5
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN208356270U
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳彥政;游閔盛;王世昌;陳柏軒
• 申請（專利權(quán)）人: 馗鼎奈米科技股份有限公司
• 主分類號: B01D35/00
• 分類號: B01D35/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

一種過濾器的純化系統(tǒng)，包含過濾器放置架、化學(xué)溶液供液系統(tǒng)、第一壓力感測器、化學(xué)溶液排液系統(tǒng)、第二壓力感測器及氣泡感測器。過濾器放置架用以裝載過濾器。化學(xué)溶液供液系統(tǒng)包含供液源、及第一管線連接供液源與過濾器放置架。第一壓力感測器設(shè)于第一管線上，且配置以感測化學(xué)溶液在第一管線中的第一壓力。化學(xué)溶液排液系統(tǒng)包含排液源、及第二管線連接過濾器放置架與排液源。第二壓力感測器設(shè)于第二管線上，且配置以感測化學(xué)溶液在第二管線中的第二壓力。氣泡感測器設(shè)于第二管線上，且介于第二壓力感測器與排液源之間。利用壓力感測器與氣泡感測器來監(jiān)控過濾器的純化結(jié)果，可達(dá)到節(jié)省純化過濾器的化學(xué)溶液消耗量以及縮減純化時間的功效。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型是有關(guān)于一種純化技術(shù)，且特別是有關(guān)于一種過濾器的純化系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制程中所使用的化學(xué)溶液，例如去離子水(DIW)、堿性溶液、酸性溶液、以及光阻液等，其潔凈度要求非常高。因此，必須移除化學(xué)溶液中的雜質(zhì)或污染物，以避免這些雜質(zhì)或污染物影響微元件制造的良率。一般是利用過濾器來移除化學(xué)溶液中的雜質(zhì)或污染物，透過過濾器的濾芯等過濾介質(zhì)來移除化學(xué)溶液中的任何污染物，以獲得具有所需潔凈度的化學(xué)溶液。

使用過濾器來過濾化學(xué)溶液之前，由于過濾器本身可能存有雜質(zhì)或污染物，因此必須先清潔過濾器，以避免過濾器中的雜質(zhì)或污染物流至化學(xué)溶液內(nèi)。此外，過濾器的濾芯內(nèi)部的空隙有氣體殘留，因此當(dāng)化學(xué)溶液經(jīng)過過濾器時，濾芯內(nèi)部的氣體會溶入化學(xué)溶液中而在化學(xué)溶液中形成氣泡，這些氣泡也會影響制程良率。

實(shí)用新型內(nèi)容

因此，本實(shí)用新型的一目的就是在提供一種過濾器的純化系統(tǒng)，其可預(yù)先移除過濾器本身的雜質(zhì)或污染物，并可透過監(jiān)控過濾器的純化結(jié)果，而達(dá)到節(jié)省純化過濾器的化學(xué)溶液消耗量以及縮減純化時間的功效。

根據(jù)本實(shí)用新型的上述目的，提出一種過濾器的純化系統(tǒng)。此過濾器的純化系統(tǒng)包含過濾器放置架、化學(xué)溶液供液系統(tǒng)、第一壓力感測器、化學(xué)溶液排液系統(tǒng)、第二壓力感測器、以及氣泡感測器。過濾器放置架配置以裝載過濾器。化學(xué)溶液供液系統(tǒng)包含供液源、以及第一管線連接供液源與過濾器放置架，其中供液源配置以供應(yīng)過濾器化學(xué)溶液。第一壓力感測器設(shè)于第一管線上，且配置以感測化學(xué)溶液在第一管線中的第一壓力。化學(xué)溶液排液系統(tǒng)包含排液源、以及第二管線連接過濾器放置架與排液源，其中排液源配置以容置經(jīng)由過濾器所排出的化學(xué)溶液。第二壓力感測器設(shè)于第二管線上，且配置以感測化學(xué)溶液在第二管線中的第二壓力。氣泡感測器設(shè)于第二管線上，且介于第二壓力感測器與排液源之間，其中氣泡感測器配置以感測通過的化學(xué)溶液中是否有氣泡。

依據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例，上述過濾器的純化系統(tǒng)還包含控制器，與第一壓力感測器及第二壓力感測器信號連接，其中控制器配置以接收第一壓力感測器與第二壓力感測器所感測到的第一壓力與第二壓力，并計(jì)算第一壓力與第二壓力之間的壓力差，且判斷此壓力差是否保持在一預(yù)設(shè)范圍內(nèi)。

依據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例，上述的控制器與氣泡感測器信號連接，且控制器更配置以接收氣泡感測器的感測結(jié)果，并根據(jù)壓力差是否保持在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)的判斷結(jié)果與氣泡感測器的感測結(jié)果來判斷過濾器是否已完成純化。

依據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例，上述的過濾器的純化系統(tǒng)還包含微粒子計(jì)數(shù)器，其中此微粒子計(jì)數(shù)器設(shè)于第二管線上，且配置以偵測化學(xué)溶液內(nèi)的雜質(zhì)或污染物含量。

依據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例，上述的過濾器的純化系統(tǒng)還包含化學(xué)溶液再利用系統(tǒng)。此化學(xué)溶液再利用系統(tǒng)包含儲液槽、第三管線、第四管線、以及過濾模組。第三管線連接儲液槽與位于氣泡感測器和排液源之間的第二管線，且配置以在壓力差保持在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)時，從第二管線將化學(xué)溶液傳送到儲液槽。第四管線連接儲液槽與位于供液源與第一壓力感測器之間的第一管線，且配置以將儲液槽的化學(xué)溶液傳送至第一管線。過濾模組設(shè)于第四管線上，且配置以過濾流過第四管線的化學(xué)溶液。