[實用新型]軟板真空蝕刻裝置

有效

• 申請號: 201820557897.1
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN208369966U
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 謝南海;楊小冬;李延奇
• 申請（專利權）人: 廣東達源設備科技有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.軟板真空蝕刻裝置，包括下行轆滾輪組(1)、直齒輪(2)、傘齒輪(3)、上滾輪片(4)、真空吸管(5)、軟板(9)與輸送軸(6)，所述下行轆滾輪組(1)包含鎖緊套(7)、下滾輪片(8)與輸送軸(6)，其特征在于，所述下行轆滾輪組(1)一端設有直齒輪(2)，所述上滾輪片(4)依次分布在真空吸管(5)之間，且上滾輪片(4)位置比真空吸管(5)低1至2mm，所述真空吸管(5)采用扁平狀設計，底面兩邊設有小孔，中間設有長條孔，所述輸送軸(6)與上滾輪片(4)緊密固定，而在一端上與直齒輪(2)固定，所述直齒輪(2)與傘齒輪(3)實現齒輪傳動，所述軟板(9)在下行轆滾輪組(1)與上滾輪片(4)之間。

2.根據權利要求1所述的軟板真空蝕刻裝置，其特征在于，所述下行轆滾輪組(1)含有鎖緊套(7)兩個，下滾輪片(8)的數量按照軟板真空蝕刻裝置的使用范圍進行合理化設計。

3.根據權利要求1所述的軟板真空蝕刻裝置，其特征在于，所述直齒輪(2)與傘齒輪(3)的模數保證一致，齒面高度重合，實現高效的齒輪傳動。

4.根據權利要求3所述的軟板真空蝕刻裝置，其特征在于，所述直齒輪(2)與傘齒輪(3)由于頻繁的齒輪傳動，需采用高強度的高分子耐腐蝕材料生產。

5.根據權利要求1所述的軟板真空蝕刻裝置，其特征在于，所述真空吸管(5)底面兩邊設有小孔，中間設有長條孔，真空吸管(5)能在負壓模式下充分抽取軟板(9)表面的蝕刻液，阻止“水池效應”的發生。

6.根據權利要求1所述的軟板真空蝕刻裝置，其特征在于，所述上滾輪片(4)能夠抵抗真空吸管(5)對軟板(9)的吸力，從而保證真空吸管(5)在負壓模式下只能充分吸附軟板(9)表面的蝕刻液。

7.根據權利要求1所述的軟板真空蝕刻裝置，其特征在于，所述上滾輪片(4)低于真空吸管(5)1至2mm，形成的高度差保證了軟板(9)在吸附狀態下不卡板。

8.根據權利要求1所述的軟板真空蝕刻裝置，其特征在于，所述軟板(9)包含薄板和超薄板，厚度范圍＜0.1mm。