[實用新型]一種擴散泵

有效

• 申請號: 201820555228.0
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN208236778U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 夏春波;孟繁華
• 申請（專利權）人: 沈陽藍菱真空設備制造有限公司
• 主分類號: F04F9/00
• 分類號: F04F9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種擴散泵，涉及擴散泵領域。對柱芯結構進行改進，增加了外沿，使傘形噴嘴的圓柱形凸起與泵芯外沿形成氣流通道，保證能夠攜帶更多的空氣向出口流動，另外在外罩上設置凸腔部，形成“快擴慢收”的油腔結構，使抽氣效果更加理想。該裝置設計合理，結構簡單，便于維護。

技術領域

本實用新型涉及擴散泵領域，特別涉及一種擴散泵。

背景技術

擴散泵是目前獲取真空的最主要的工具之一，其原理是通過處于分子狀態下的被抽氣體分子擴散進入高速定向運動的油蒸汽內，由動量傳遞而被攜帶至前級來完成抽氣作用。現有的擴散泵噴嘴，其張角角度一般設置為50～60度，從噴嘴噴射出的蒸汽射流幾乎是緊貼著導流管豎直向下噴射，雖然在噴嘴處速度可達到280m/s左右，但是蒸汽射流覆蓋面積較小，沒有噴射到泵腔內壁只形成了一個很小的成閉合回路，導致此時蒸汽射流所能攜帶的空氣體積比較小，導致抽氣效果不理想。現有的方式利用傘形噴嘴阻擋油氣的繼續上升，由于噴嘴的遮擋面積有效，導致仍舊會有油氣越過噴嘴而繼續上升，導致反油率增高，影響擴散泵的工作效率。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種擴散泵，該裝置設計合理、結構簡單，便于安裝和維護。

本實用新型所采用的技術方案是：一種擴散泵，包括帶有中空油腔、進氣口和出氣口的外罩、設在外罩表面的水冷套、設在油腔底部的加熱裝置、導油盤及設置在加熱裝置上方的泵芯，泵芯上端設傘形噴嘴，其技術要點是，在泵芯的頂部設上開口外沿，所述外沿的內徑略大于泵芯的內徑，傘形噴嘴上設有圓柱形凸起，圓柱形凸起插接在泵芯的外沿內，圓柱形凸起與泵芯外沿之間的空隙形成氣流通道，所述的外罩在一級噴嘴下方至最后一級噴嘴上方位置設有凸腔部，凸腔部上部與外罩連接處的擴張角為18-21度，凸腔部下部與外罩連接處的擴張角為58-62度。

上述方案中，所述的加熱裝置與控制柜連接。

本實用新型的有益效果是：該擴散泵，對柱芯結構進行改進，增加了外沿，使傘形噴嘴的圓柱形凸起與泵芯外沿形成氣流通道，保證能夠攜帶更多的空氣向出口流動，另外在外罩上設置凸腔部，形成“快擴慢收”的油腔結構，保證抽氣效果的理想。該裝置設計合理，結構簡單，便于維護。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例中擴散泵的結構示意圖；

圖中序號說明如下：1外罩、11油腔、12進氣口、13凸腔部、2水冷套、3出氣口、4控制柜、5加熱裝置、6泵芯、61外沿、7傘形噴嘴、71圓柱形凸起。

具體實施方式

使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖1和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

實施例1：

本實施例中的擴散泵，包括帶有油腔11和進氣口12的外罩1、設在外罩1外側的水冷套2、設置在油腔11底部的加熱裝置5及設置在加熱裝置5上方的泵芯7，在泵芯7的上端還設有傘形噴嘴7，泵芯6的本體為圓柱形，在泵芯6的頂部設有上開口的外沿61，外沿61的內徑略大于泵芯6的內徑，傘形噴嘴7的內壁設有圓柱形凸起71，圓柱形凸起71與泵芯6外沿61之間的空隙形成氣流通道。傘形噴嘴7的張角為40度，噴嘴噴出的蒸汽射流會在泵腔內形保持一段較長的高速射流，效果最佳。本實施例中的外罩1在一級噴嘴下方和最后一級噴嘴上方的位置設有凸腔部13，凸腔部13上部與外罩1連接處的擴張角為20度，凸腔部13下部與外罩1連接處的擴張角為60度，

泵芯7的內徑設為4mm。在外罩1上還設有出氣口3，便于抽出氣體。