[實用新型]氣相沉積冷卻裝置

有效

• 申請號: 201820554418.0
• 申請日: 2018-04-18
• 公開（公告）號: CN208234986U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 蒲春
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/50
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種氣相沉積冷卻裝置，應用于在線式氣相沉積裝置上，所述在線式氣相沉積裝置包括：真空沉積區和載體；所述載體可攜帶基片運動至所述真空沉積區內進行薄膜沉積，其特征在于，包括：冷卻液注入機構和升降裝置；所述冷卻液注入機構包括：注液部件和進液管；

所述注液部件設置在所述真空沉積區內，當所述載體停留在所述真空沉積區內時，所述注液部件在所述升降裝置的驅動下上下移動插入所述載體內部的冷卻液容納區內，注入冷卻液；所述進液管從外部伸入所述真空沉積區內并與所述注液部件連通，以便于從外部通過所述注液部件向所述冷卻液容納區內注入冷卻液。

2.如權利要求1所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，還包括：出水部件和出液管；

所述注液部件設置在所述載體的一側，所述出水部件設置在所述載體的另一側；

所述出水部件設置在所述真空沉積區內，當所述載體停留在所述真空沉積區內時，所述出水部件在所述升降裝置的驅動下上下移動插入所述載體內部的冷卻液容納區內，以使冷卻液流出所述載體；

所述出液管從外部伸入所述真空沉積區內并與所述出水部件連通，以便于將所述冷卻液容納區內的冷卻液通過出水部件流出。

3.如權利要求2所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，所述注液部件和/或出水部件包括：插頭；所述載體設有與所述冷卻液容納區連通的液體進口和/或液體出口，所述載體位于所述液體進口和/或液體出口處設有套管；當所述載體停留在所述真空沉積區內時，所述注液部件和/或出水部件的插頭在所述升降裝置的驅動下與所述注液部件和/或出水部件的套管相互套合。

4.如權利要求3所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，所述載體的液體進口和/或液體出口通過橡膠薄膜封堵。

5.如權利要求2所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，還包括：冷卻液供應裝置、供氣裝置和三通閥門；所述進液管、冷卻液供應裝置和供氣裝置分別通過三通閥門連通。

6.如權利要求2所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，所述進液管和/或出液管為軟管。

7.如權利要求2-6任一項所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，所述升降裝置包括：升降桿和密封套；

所述升降桿的頂部伸入所述真空沉積區內并可上下移動；

所述密封套套設在所述升降桿上與所述真空沉積區銜接密封。

8.如權利要求7所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，所述升降裝置還包括：升降板，所述升降板設置在所述升降桿的頂部，所述注液部件和/或出水部件固定在所述升降板上。

9.如權利要求7所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，所述密封套為彈性密封套。

10.如權利要求8所述的氣相沉積冷卻裝置，其特征在于，所述密封套為波紋管，所述波紋管的第一端封堵，所述波紋管的第二端與所述真空沉積區連通；所述升降桿的底部與所述波紋管的第一端連接，隨所述波紋管上下移動；所述注液部件和/或出水部件固定在所述升降板上。