[實用新型]氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置

有效

• 申請號: 201820550919.1
• 申請日: 2018-04-18
• 公開（公告）號: CN208155094U
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發明（設計）人: 王金鐸;啜艷明;胡士偉;郭鳳祥;周倩;郭賓
• 申請（專利權）人: 保定順天新材料股份有限公司
• 主分類號: F27D25/00
• 分類號: F27D25/00
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 劉敏

本實用新型公開了一種氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置，包括冷卻罐體，所述冷卻罐體下方設有焦油儲存器，所述冷卻罐體的上方設有煙氣進口，其下方的一側設有與布袋除焦油系統連通的煙氣出口，所述冷卻罐體內還設有位于冷卻水系統內部的加熱系統，所述冷卻水系統內的中間位置設有用于控制水流方向的水冷隔板，所述冷卻水系統上方設有位于所述水冷隔板兩側的冷卻水進口和冷卻水出口，所述冷卻罐體內設有環繞所述冷卻水系統的螺旋葉片，所述螺旋葉片為底部向下傾斜設置。本實用新型采用上述結構的氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置，保證氣相沉積尾氣中的焦油清理更徹底，節約人工成本，節約時間。

技術領域

本實用新型涉及氣相沉積爐配件技術領域，特別是涉及一種氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置。

背景技術

氣相沉積尾氣中含有大量焦油，焦油極易凝結成液態或者固態，極易對煙道造成堵塞和腐蝕，影響設備正常運行；目前，國內氣相沉積爐主要采用布袋除焦油，該方法需要每次沉積爐停爐后更換布袋，清理真空泵，更換真空泵油，不但浪費人工成本，浪費布袋與真空泵油并且該方法清理不徹底，導致尾氣無法達到排放標準并且對真空泵壽命造成很大的影響。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置，保證氣相沉積尾氣中的焦油清理更徹底，節約人工成本，節約時間。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置，包括冷卻罐體和位于所述冷卻罐體下方的焦油儲存器，所述冷卻罐體的上方設有煙氣進口，其下方的一側設有與布袋除焦油系統連通的煙氣出口，所述冷卻罐體內設有位于冷卻水系統內部的加熱系統，所述冷卻水系統內中間位置設有用于控制水流方向的水冷隔板，所述冷卻水系統上方設有位于所述水冷隔板兩側的冷卻水進口和冷卻水出口，所述冷卻罐體內設有環繞所述冷卻水系統的螺旋葉片，所述螺旋葉片為底部向下傾斜設置。

優選的，所述冷卻水系統位于所述冷卻罐體的內部，其水平高度高于所述冷卻罐體的水平高度。

優選的，所述焦油儲存器與所述煙氣出口連通。

優選的，所述加熱系統的頂部設有熱電偶安裝口。

優選的，所述冷卻罐體與所述焦油儲存器、所述冷卻罐體與所述布袋除焦油系統均通過安裝法蘭連接。

因此，本實用新型采用上述結構的氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置，在用布袋除焦油之前對尾氣進行除焦油處理，既可以保證徹底清除尾氣中的焦油，又方便清理，節約人工成本，節約時間。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

附圖說明

圖1是本實用新型氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置實施例的示意圖；

其中：1、冷卻罐體；2、冷卻水系統；3、加熱系統；4、煙氣進口；5、冷卻水進口；6、熱電偶安裝口；7、冷卻水出口；8、水冷隔板；9、螺旋葉片；10、煙氣出口；11、焦油儲存器；12、布袋除焦油系統。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的實施方式做進一步的說明。

圖1是本實用新型氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置實施例的示意圖，如圖所示，一種氣相沉積爐用螺旋除焦油裝置，包括冷卻罐體1，冷卻罐體1下方設有焦油儲存器11，冷卻罐體1與焦油儲存器11通過安裝法蘭連通，焦油儲存器11用于盛放凝結的焦油，焦油儲存收集后可作為膠黏劑使用。

冷卻罐體1采用上進下出的通氣方式，冷卻罐體1的上方設有煙氣進口4，其下方的一側設有煙氣出口10，煙氣出口10通過安裝法蘭與布袋除焦油系統12連通。煙氣自煙氣進口4進入，然后通過煙氣出口10進入布袋除焦油系統12。