[實用新型]一種LED芯片光刻勻膠臺有效
| 申請號: | 201820544159.3 | 申請日: | 2018-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN208156414U | 公開(公告)日: | 2018-11-27 |
| 發明(設計)人: | 丘金榮 | 申請(專利權)人: | 丘金榮 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 深圳市千納專利代理有限公司 44218 | 代理人: | 鐘亮 |
| 地址: | 518001 廣東省深圳市羅*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 工作槽 主機臺 勻膠 旋轉柱 光刻 加熱裝置 內部安裝 驅動裝置 排氣孔 上表面 載片臺 烘烤 圓孔 安裝側壁 電性連接 工作效率 排風系統 整體設計 上端 集膠槽 中心處 側壁 和勻 內開 排出 下端 葉面 連通 清洗 防護 貫穿 | ||
本實用新型公開了一種LED芯片光刻勻膠臺,包括主機臺,主機臺的內部安裝有驅動裝置,主機臺的上表面開設有工作槽,工作槽中心處開設有第一圓孔,工作槽側壁的下部開設有第一排氣孔,工作槽內安裝有盛膠裝置,驅動裝置的上表面連接有旋轉柱的下端,旋轉柱的貫穿第一圓孔,旋轉柱的上端安裝有載片臺,載片臺的內部安裝有加熱裝置,加熱裝置與主機臺電性連接,盛膠裝置包括安裝側壁、集膠槽、集膠葉面和勻膠防護。本LED芯片光刻勻膠臺,在勻膠的過程中增加了烘烤步奏,免去借助其他設備烘烤,提高了工作效率,盛膠裝置采用整體設計,安拆方便,清洗容易,在盛膠裝置和工作槽內開設有與排風系統連通的排氣孔,有利于氣味排出。
技術領域
本實用新型涉及LED加工設備技術領域,具體為一種LED芯片光刻勻膠臺。
背景技術
勻膠機是一種利用旋轉產生的離心力原理,將膠液均勻甩開,平鋪到材料表面的機械裝置,其應用于各類對于材料表面涂覆的均勻性有嚴格要求的實驗或制造領域。LED芯片在制做電極過程中,需要對LED晶圓片的表面進行勻膠處理,再對其進行烘烤,現在一般的勻膠機沒有烘烤功能,需要借助其他設備進行烘烤,過程比較繁瑣,同時勻膠過程中,光刻膠的氣味較大,難以忍受,現有的勻膠臺廢膠難以清洗。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種LED芯片光刻勻膠臺,具有自動加熱、氣味小、易清洗的優點,解決了現有技術中的問題。
為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種LED芯片光刻勻膠臺,包括主機臺,所述主機臺的內部安裝有驅動裝置,主機臺的上表面開設有工作槽,工作槽中心處開設有第一圓孔,工作槽側壁的下部開設有第一排氣孔,工作槽安裝有盛膠裝置,所述驅動裝置的上表面連接有旋轉柱的下端,旋轉柱的貫穿第一圓孔,旋轉柱的上端安裝有載片臺,載片臺的內部安裝有加熱裝置,加熱裝置與主機臺電性連接,所述盛膠裝置包括安裝側壁、集膠槽、集膠葉面和勻膠防護,安裝側壁的外壁與工作槽的內壁貼合,安裝側壁下部開設有第二排氣孔,安裝側壁的下端與集膠槽的外壁連接,集膠槽一側的下表面開設有漏膠孔,漏膠孔的下方連接有軟管的一端,軟管的另一端插在廢膠瓶中,集膠槽的內壁與集膠葉面的下邊緣連接,集膠葉面上表面的中心處開設有第二圓孔,旋轉柱貫穿第二圓孔第二圓孔的上方連接有勻膠防護。
優選的,所述第一排氣孔與第二排氣孔的位置相對應,第一排氣孔與排風機構相連。
優選的,所述加熱裝置由感應線圈組成。
優選的,所述集膠葉面為中間高、四周底的曲面結構,集膠槽開設有漏膠空一側的高度低于另一側。
優選的,所述勻膠防護的高度低于第一載片臺的下表面,載片臺的上表面低于安裝側壁的上表面。
與現有技術相比,本實用新型的有益效果如下:
本LED芯片光刻勻膠臺,在勻膠的過程中增加了烘烤步奏,免去借助其他設備烘烤,提高了工作效率,盛膠裝置采用整體設計,安拆方便,清洗容易,在盛膠裝置和工作槽內開設有與排風系統連通的排氣孔,有利于氣味排出。
附圖說明
圖1為本實用新型的整體結構圖;
圖2為本實用新型的A-A截面圖;
圖3為本實用新型的盛膠裝置結構圖。
圖中:1主機臺、11工作槽、111第一圓孔、112第一排氣孔、2驅動裝置、3旋轉柱、4載片臺、41加熱裝置、5盛膠裝置、51安裝側壁、511第二排氣孔、52集膠槽、521漏膠孔、53集膠葉面、531第二圓孔、54勻膠防護、55軟管、56廢膠瓶。
具體實施方式
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