[實用新型]一種擴散泵抽真空系統

有效

• 申請號: 201820537906.0
• 申請日: 2018-04-16
• 公開（公告）號: CN208073885U
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 劉生利;吳為民;劉春
• 申請（專利權）人: 營口市榮興達科技實業股份有限公司
• 主分類號: F04F9/00
• 分類號: F04F9/00;F04B41/06
• 代理公司: 沈陽易通專利事務所 21116
• 代理人: 于飛

1.一種擴散泵抽真空系統，其特征在于：包括擴散泵、用于對擴散泵排氣口提供負壓的機械泵、以及連接擴散泵和機械泵的排氣管路，其中擴散泵包括橫置斗狀的排氣管，該排氣管大口徑端與所述擴散泵對接，小口徑端與所述排氣管路連通；所述排氣管路包括第一豎管、第一橫管和第二豎管，其中第一豎管的下端與所述排氣管小口徑端對接，第一豎管的上端與所述第一橫管第一端對接，第一橫管的第二端與所述第二豎管中段對接，第二豎管的下端與機械泵連通，第二豎管的上端設置活動泄壓組件；第二豎管上具有可自由彎折的波紋管以及在排氣方向設置在波紋管后方的電磁真空差壓閥；

所述泄壓組件包括墊片、壓盤、以及朝上設置的法蘭盤端口，所述法蘭盤端口的頂面具有環狀的凹槽，所述墊片具有形狀與凹槽匹配的下凸起結構，墊片的頂面具有上凹槽結構，所述墊片的下下凸起結構嵌入的安裝在凹槽內，蓋板壓裝在墊片的頂面，使所述法蘭盤端口頂面、墊片和壓盤形成密封結構。

2.根據權利要求1所述的擴散泵抽真空系統，其特征在于：所述法蘭盤端口的頂面的環形凹槽設置在靠近第一豎管內壁的位置，且所述墊片的內環面與所述第一豎管內壁平行。

3.根據權利要求1所述的擴散泵抽真空系統，其特征在于：所述第一橫管端具有泄壓閥。

4.根據權利要求1所述的擴散泵抽真空系統，其特征在于：所述第一豎管和第一橫管通過彎管連接，且彎管的兩個端部與第一豎管、第一橫管端部均通過法蘭盤對接。

5.根據權利要求1所述的擴散泵抽真空系統，其特征在于：所述擴散泵通過滾輪組件設置在地面上。

6.根據權利要求1所述的擴散泵抽真空系統，其特征在于：所述機械泵為滑閥泵。