[實用新型]晶圓片保護模具有效
| 申請號： | 201820532100.2 | 申請日： | 2018-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN208111411U | 公開（公告）日： | 2018-11-16 |
| 發明（設計）人： | 仇治勤;羅建軍;王濤 | 申請（專利權）人： | 上海瑞鉬特金屬新材料有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海弼興律師事務所 31283 | 代理人： | 胡美強;楊東明 |
| 地址： | 201508 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓盒 晶圓片 防護部 模具 頂部開口 容納空間 固定部 離心桶 阻擋 本實用新型 可拆卸連接 向下延伸 覆蓋 內壁 圓片 種晶 容納 | ||
1.一種晶圓片保護模具，其特征在于，其用于阻擋晶圓片從晶圓盒的頂部開口中掉出，所述晶圓片保護模具包括：
防護部，所述防護部用于覆蓋所述晶圓盒的頂部開口；
固定部，所述固定部從所述防護部的寬度方向的兩側向下延伸并重合以圍成一容納空間，所述容納空間用于容納所述晶圓盒，以使所述防護部可拆卸連接于所述晶圓盒。
2.如權利要求1所述的晶圓片保護模具，其特征在于，所述晶圓片保護模具還包括限位部，所述限位部從所述防護部或所述固定部位于所述防護部的長度方向的一側向所述容納空間延伸，以用于阻擋所述晶圓盒離開所述容納空間。
3.如權利要求1所述的晶圓片保護模具，其特征在于，所述晶圓片保護模具還包括兩個把手，兩個所述把手分別設置于所述固定部的左右兩側。
4.如權利要求1所述的晶圓片保護模具，其特征在于，所述晶圓盒的底部具有一底座，所述固定部的底部的形狀與所述底座相適配，以使所述固定部的底部用于卡設所述底座。
5.如權利要求4所述的晶圓片保護模具，其特征在于，所述固定部的底部設有兩個凸出部，兩個所述凸出部均朝向所述容納空間設置并且相互平行，兩個所述凸出部用于分別抵靠在所述底座的左右兩側。
6.如權利要求1-5任一項所述的晶圓片保護模具，其特征在于，所述防護部的表面具有若干開口，所述開口的尺寸均小于所述晶圓片的直徑。
7.如權利要求1-5任一項所述的晶圓片保護模具，其特征在于，所述晶圓片保護模具的材質為不銹鋼。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
