[實(shí)用新型]存儲(chǔ)器的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820521570.9
• 申請(qǐng)日: 2018-04-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208127196U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L23/485
• 分類(lèi)號(hào): H01L23/485;H01L21/60
• 代理公司: 北京潤(rùn)平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11283
• 代理人: 肖冰濱;劉兵

1.一種存儲(chǔ)器的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

底墊金屬，形成在襯底上；

多個(gè)第一導(dǎo)體栓塞，設(shè)置在所述底墊金屬的周邊區(qū)上；

中間層緩沖墊，有間隔地對(duì)準(zhǔn)并位于所述底墊金屬上，所述第一導(dǎo)體栓塞縱向連接所述底墊金屬與所述中間層緩沖墊；

多個(gè)第二導(dǎo)體栓塞，設(shè)置在所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)上；以及

表面接合墊，有間隔地對(duì)準(zhǔn)并位于所述中間層緩沖墊上，所述第二導(dǎo)體栓塞縱向連接所述中間層緩沖墊與所述表面接合墊；

其中，所述中間層緩沖墊為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，所述第一導(dǎo)體栓塞和所述第二導(dǎo)體栓塞相對(duì)偏離所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)的縱向投射區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)為挖空結(jié)構(gòu)，所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間層緩沖墊的周邊區(qū)中的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的網(wǎng)格為矩形格。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述矩形格的長(zhǎng)邊與寬邊的比介于3和10之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中間層緩沖墊的中央?yún)^(qū)的挖空結(jié)構(gòu)占據(jù)所述中間層緩沖墊的尺寸的范圍為所述中間層緩沖墊的尺寸的20％至60％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：

第一介電層，形成在所述底墊金屬與所述中間層緩沖墊之間，所述第一介電層具有多個(gè)第一連接孔，所述多個(gè)第一導(dǎo)體栓塞形成在所述多個(gè)第一連接孔中；以及

第二介電層，形成在所述中間層緩沖墊與所述表面接合墊之間，所述第二介電層具有多個(gè)第二連接孔，所述多個(gè)第二導(dǎo)體栓塞形成在所述多個(gè)第二連接孔中。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)第一導(dǎo)體栓塞包括圍繞所述底墊金屬的周邊設(shè)置的多排第一導(dǎo)體栓塞，所述多排第一導(dǎo)體栓塞的排數(shù)介于3至5排之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)第二導(dǎo)體栓塞包括圍繞所述中間層緩沖墊的周邊設(shè)置的多排第二導(dǎo)體栓塞，所述多排第二導(dǎo)體栓塞的排數(shù)介于3至5排之間。