[實用新型]一種基于視覺系統的真空環境下的晶圓缺口檢測裝置有效

申請號：	201820509973.1	申請日：	2018-04-11
公開（公告）號：	CN208014654U	公開（公告）日：	2018-10-26
發明（設計）人：	王子菲	申請（專利權）人：	上海陛通半導體能源科技股份有限公司
主分類號：	H01L21/66	分類號：	H01L21/66
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	201203 上海市浦東新區中國（上海）自***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	晶圓晶圓托盤高速攝像機晶圓卡環缺口檢測真空環境腔體視覺系統傳輸口水平旋轉驅動裝置升降驅動裝置石英玻璃蓋板凹槽形殼體本實用新型對準位置角度數據金屬材質晶圓邊緣腔體上部圖樣數據控制器圓弧形圓盤形對準鏡頭覆蓋制作分析
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【權利要求書】：

1.一種基于視覺系統的真空環境下的晶圓缺口檢測裝置，它包括腔體、晶圓托盤、晶圓卡環、高速攝像機；所述腔體是由一金屬材質制作的凹槽形殼體和上部覆蓋的石英玻璃蓋板組成，腔體的一側設有晶圓傳輸口，且內部設有晶圓托盤和晶圓卡環；所述晶圓托盤為圓盤形，設水平旋轉驅動裝置；所述晶圓卡環為圓弧形，設升降驅動裝置；所述高速攝像機安裝在腔體上方，靠近晶圓傳輸口的一側，攝像機的鏡頭位于晶圓缺口的設定對準位置的正上方。

2.根據權利要求1所述的一種基于視覺系統的真空環境下的晶圓缺口檢測裝置，其特征在于：晶圓托盤和晶圓卡環的驅動裝置均安裝固定在殼體的底部上，相當于晶圓傳輸口的位置，晶圓卡環的升降驅動裝置是安裝在晶圓托盤的水平驅動裝置的后方。

3.根據權利要求1所述的一種基于視覺系統的真空環境下的晶圓缺口檢測裝置，其特征在于：晶圓卡環與晶圓托盤均水平安裝，且晶圓卡環的圓心與晶圓托盤的圓心為同心。

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