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[實用新型]一種單晶爐坩堝有效

專利信息
申請號: 201820501274.2 申請日: 2018-04-10
公開(公告)號: CN208250453U 公開(公告)日: 2018-12-18
發明(設計)人: 周磊;趙永雷;朱俊杰 申請(專利權)人: 湖南金石新材料有限公司
主分類號: C30B15/10 分類號: C30B15/10
代理公司: 長沙科永臻知識產權代理事務所(普通合伙) 43227 代理人: 楊琦玲
地址: 412500 湖南*** 國省代碼: 湖南;43
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摘要:
搜索關鍵詞: 單晶爐 調速盒 坩堝 電動機輸出軸 減速從動齒輪 電機箱內壁 主動齒輪 電機箱 轉動軸 嚙合 本實用新型 表面固定 工作負擔 加熱線圈 爐體內壁 內部固定 手動調節 轉動連接 電動機 軸心處 爐體 費力 貫穿 延伸
【說明書】:

實用新型公開了一種單晶爐坩堝,包括爐體,所述爐體內壁底部的兩側均固定連接有電機箱,所述電機箱內壁底部的右側固定連接有調節電動機,所述電機箱的內部固定連接有調速盒,所述調節電動機輸出軸的一端貫穿調速盒并且延伸至調速盒的內部,調節電動機輸出軸的表面固定連接有主動齒輪,主動齒輪的一側嚙合有減速從動齒輪,所述減速從動齒輪的軸心處固定連接有轉動軸,所述轉動軸的頂端與電機箱內壁的頂部轉動連接,本實用新型涉及單晶爐技術領域。該單晶爐坩堝,解決了手動調節費時費力、調節精度有限的問題,有效的減輕了操作人員的工作負擔,大大的提高了加熱線圈的水平精度,并且結構簡單,易于操作。

技術領域

本實用新型涉及單晶爐技術領域,具體為一種單晶爐坩堝。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶直徑在生長過程中可受到溫度,提拉速度與轉速,坩堝跟蹤速度與轉速,保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶,而速度將直接影響到晶體的內在質量,而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場,不僅單晶生長順利,而且品質較高;如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產生各種缺陷,影響質量,情況嚴重的出現變晶現象生長不出來單晶。因此在投資單晶生長企業的前期,一定要根據生長設備,配置出最合理的熱場,從而保證生產出來的單晶的品質。

主要使用的單晶爐坩堝的加熱線圈在工作前均需調整以保證在工作時保持水平,現在主要依靠直尺手動測量和調節,這種調節方法費時費力,并且調節精度有限。

實用新型內容

針對現有技術的不足,本實用新型提供了一種單晶爐坩堝,解決了手動測量調節費時費力,調節精度有限的問題。

為實現以上目的,本實用新型通過以下技術方案予以實現:一種單晶爐坩堝,包括爐體,所述爐體內壁底部的兩側均固定連接有電機箱,所述電機箱內壁底部的右側固定連接有調節電動機,所述電機箱的內部固定連接有調速盒,所述調節電動機輸出軸的一端貫穿調速盒并且延伸至調速盒的內部,所述調節電動機輸出軸的表面固定連接有主動齒輪,所述主動齒輪的一側嚙合有減速從動齒輪,所述減速從動齒輪的軸心處固定連接有轉動軸,所述轉動軸的頂端與電機箱內壁的頂部轉動連接,所述轉動軸的底端貫穿調速盒并且延伸至調速盒的底部,所述轉動軸的表面且位于調速盒的底部固定連接有第一皮帶輪,所述第一皮帶輪的表面通過皮帶傳動連接有第二皮帶輪,所述第二皮帶輪的軸心處固定連接有螺紋桿,所述螺紋桿的底端與爐體內壁的底部轉動連接。

優選的,所述爐體內壁的底部固定連接有滑軌,所述螺紋桿的表面螺紋連接有螺紋塊,且螺紋塊套設在滑軌的表面,所述螺紋塊的一側固定連接有連接桿。

優選的,所述爐體內壁的底部固定連接有支撐板,所述支撐板的頂部固定連接有加熱線圈,所述加熱線圈頂部的兩側均與連接桿的一端固定連接。

優選的,所述加熱線圈的頂部活動連接有平衡盒,所述平衡盒的內部滾動連接有圓珠,所述平衡盒內壁的兩側固定連接有觸碰開關,所述觸碰開關的一側固定連接有電線,所述電線的一端貫穿平衡盒并且延伸至平衡盒的外部。

優選的,所述電機箱一側的頂部固定連接有啟動插座,所述啟動插座的一側與電線的一端活動連接。

優選的,所述爐體的表面鉸接有爐門,所述爐體的底部固定連接有支撐座。

本實用新型提供了一種單晶爐坩堝。具備以下有益效果:

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