[實用新型]一種匹配鏈式擴散的噴涂機硅片預熱裝置有效
| 申請號： | 201820494205.3 | 申請日： | 2018-04-09 |
| 公開（公告）號： | CN208028081U | 公開（公告）日： | 2018-10-30 |
| 發明（設計）人： | 顧君;耿劉勇;鄒春梅;范瓊 | 申請（專利權）人： | 無錫德鑫太陽能電力有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 向文 |
| 地址： | 214100 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 預熱罩 噴涂 擴散 本實用新型 預熱裝置 出風孔 吹風管 反光罩 擴散源 噴涂機 匹配鏈 散熱 硅片邊緣 加熱燈管 均勻排列 快速固定 均勻性 預熱 方阻 流動 | ||
【權利要求書】：
1.一種匹配鏈式擴散的噴涂機硅片預熱裝置，其特征在于：包括連接在一起的預熱罩和內反光罩，所述預熱罩用于對經過的硅片進行預熱，所述內反光罩內設置有加熱燈管和散熱吹風管，所述散熱吹風管上設置有若干均勻排列的出風孔，所述出風孔朝向預熱罩。
2.根據權利要求1所述的一種匹配鏈式擴散的噴涂機硅片預熱裝置，其特征在于：所述預熱罩的頂面設置有若干用于出氣的孔洞。
3.根據權利要求1所述的一種匹配鏈式擴散的噴涂機硅片預熱裝置，其特征在于：所述散熱吹風管連接著噴涂機臺的壓縮氮氣。
4.根據權利要求1所述的一種匹配鏈式擴散的噴涂機硅片預熱裝置，其特征在于：所述內反光罩的頂部為圓弧形結構。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于無錫德鑫太陽能電力有限公司，未經無錫德鑫太陽能電力有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201820494205.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：濕法制絨裝置
- 下一篇：一種用于太陽能電池片的分片裝置
- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
